Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Cấu trúc và hiện thực hóa mạch của cảm biến áp suất-nhiệt độ kết hợp dựa trên hiệu ứng piezoresistive cắt
Proceedings. 3rd Annual Siberian Russian Workshop on Electron Devices and Materials - Tập 1 - Trang 5 pp. - 2002
Tóm tắt
Bài báo này phát triển và trình bày về cấu trúc và hiện thực hóa mạch của cảm biến áp suất-nhiệt độ kết hợp dựa trên hiệu ứng piezoresistive cắt (SPE). Cảm biến silicon bốn cực (FTT) được sử dụng làm yếu tố nhạy cảm chính. Cấu trúc của cảm biến cho phép đo đạt yêu cầu huyết áp, nhiệt độ cơ thể và nhịp tim. Mạch của cảm biến này cho phép đo các thông số này với độ chính xác tốt. Đầu ra kỹ thuật số mang lại sự tiện lợi cho bệnh nhân và nhân viên vận hành.
Từ khóa
#Temperature sensors #Piezoresistance #Silicon #Bridge circuits #Stress #Water heating #Pulse measurements #Sensor phenomena and characterization #Topology #Surface resistanceTài liệu tham khảo
sze, 1994, Semiconductor Sensors
10.1016/S0924-4247(99)00297-6
gridchin, 1999, An analytical description of the Greek cross as a piezotransducer with Zijresistances, 2nd IEEE-Russia Conf on High Power Microwave Electronics Measurement Identification Application (MIA-ME'99) Proc, 111.62
10.1016/S0924-4247(01)00458-7
gridchin, 1997, The four-terminal piezotransduccr: theory and comparison with piezoresistive bridge, Sensors and Actuators A (Phys ), 58, 219, 10.1016/S0924-4247(97)01403-9
1983, VLSI Technology cd by S.M. Sze