10.1007/s12274-013-0386-7
Liu, 2006, Foundations of MEMS
Zhao, 2015, J. Nanomater.
10.1016/j.nanoen.2014.11.037
10.1016/j.sna.2013.11.004
10.1021/acssensors.6b00145
Minjeong, 2015, Adv. Funct. Mater, 25, 2841, 10.1002/adfm.201500453
10.1016/j.nanoen.2014.10.037
Dukhyun, 2010, Adv. Mater, 22, 2187, 10.1002/adma.200903815
10.1016/j.nanoen.2017.02.033
10.1016/j.nanoen.2015.03.008
10.1109/JPROC.2009.2013612
10.1016/S0925-4005(02)00301-5
10.1021/acs.chemrev.5b00608
10.1016/j.rser.2015.11.051