Magnetron-sputtered metal-amorphous silicon interfaces

Thin Solid Films - Tập 93 - Trang 301-307 - 1982
W.W. Anderson1, J.L. Crowley1, A.D. Jonath1, H.F. Macmillan1, W.G. Opyd1
1Lockheed Research Laboratory, Palo Alto, CA U.S.A.

Tài liệu tham khảo

Tomlin, 1968, Br. J. Appl. Phys. (J. Phys. D), 1, 1667, 10.1088/0022-3727/1/12/312 Thompson, 1981, Appl. Phys. Lett., 39, 274, 10.1063/1.92670 Sze, 1969 Thornton, 1981, J. Vac. Sci. Technol., 18, 203, 10.1116/1.570724 Wronski, 1977, 453 Morel, 1981, Appl. Phys. Lett., 39, 612, 10.1063/1.92821
Thông tin
Thông tin xuất bản

Thin Solid Films

Tập 93

301-307

Thông tin tác giả