Về một thiết bị đo áp suất tuyệt đối cho việc đo áp suất khí thấp nhất

Zeitschrift für Physik - Tập 122 - Trang 418-436 - 1944
H. Klumb, H. Schwarz

Tóm tắt

Bài báo mô tả một thiết bị đo áp suất hoạt động theo nguyên lý đo bức xạ, có khả năng đo áp suất trong khoảng từ 10−2 đến 10−8 Torr. Nó được khảo sát về tính khả thi và so sánh với các loại manomet áp suất ion hóa, manomet nén và manomet dây nóng. Các thử nghiệm cho thấy, với sự lựa chọn hợp lý của các hệ thống đo lường, có thể đạt được những mô-men như vậy với thời gian dao động thấp và độ nhạy rung động thấp, cho phép thực hiện đo áp suất bằng quy trình bù điện động trong một khoảng áp suất tối thiểu lên đến 5 bậc thập phân, khả thi cho đến mức áp suất khoảng 10−7 Torr. Hơn nữa, việc sử dụng các thiết bị cho phép đánh giá tuyệt đối có thể thực hiện ở mức áp suất còn thấp hơn (10−8 Torr và thấp hơn). Hành vi của các thiết bị được khảo sát trong khoảng áp suất từ 1 Torr đến 10−7 Torr.

Từ khóa

#áp suất #đo áp suất #thiết bị đo bức xạ #manomet #độ nhạy rung động #khí áp thấp