Young’s Modulus, Residual Stress, and Crystal Orientation of Doubly Clamped Silicon Nanowire Beams

Nano Letters - Tập 15 Số 5 - Trang 2945-2950 - 2015
Yonatan Calahorra1, Oleg Shtempluck1, V. Kotchetkov1, Yuval Yaish1
1Department of Electrical Engineering, Technion, Haifa 32000, Israel

Tóm tắt

Từ khóa


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