Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Phân tích tán xạ Bragg X-ray trên các vân bề mặt định kỳ
Tóm tắt
Chúng tôi báo cáo về việc phân tích tán xạ Bragg X-ray của các vân bề mặt định kỳ trên các tinh thể GaAs (100). Chúng tôi chỉ ra rằng tán xạ Bragg X-ray là một phương pháp rất mạnh mẽ để nghiên cứu các vân bề mặt siêu mịn và cho phép chúng tôi xác định không chỉ chu kỳ của vân mà đặc biệt là độ rộng của các rãnh và để xác định chất lượng của các cạnh bên, điều mà các phương pháp quang học không dễ thực hiện. Tán xạ X-ray trên các vân tinh thể bề mặt tương tự như tán xạ Fraunhofer của nhiều khe hoặc các vân phản xạ.
Từ khóa
#tán xạ Bragg #vân bề mặt #GaAs #tán xạ X-ray #phân tích vân bề mặtTài liệu tham khảo
K.-F. Berggren, T.J. Thornton, D.J. Newson, M. Pepper: Phys. Rev. Lett. 57, 1769 (1986)
T.P. Smith, H. Arnot, J.M. Hong, C.M. Knoedler, S.E. Laux, H. Schmid: Phys. Rev. Lett. 59, 2802 (1987)
H. van Houton, B.J. van Wees, J.E. Mooij, G. Roos, K.-F. Berggren: Superlatt. Microstruct. 3, 497 (1987)
T. Demel, D. Heitmann, P. Grambow, K. Ploog: Appl. Phys. Lett. 53, 2176 (1988)
T. Demel, D. Heitmann, P. Grambow, K. Ploog: Phys. Rev. B 38, 12732 (1988)
P. Grambow, T. Demel, D. Heitmann, M. Kohl, R. Schüle, K. Ploog: Microelectron. Eng. 9, 357 (1989)
W.H. Zachariasen: Theory of X-ray Diffraction in Crystals (Wiley, New York 1945)
Z.G. Pinsker: Dynamical Scattering of X-rays in Crystals, Springer Ser. Solid-State Sci., Vol. 3 (Springer, Berlin, Heidelberg 1978)
M. Born, E. Wolf: Principles of Optics (Pergamon, Oxford 1970)
E. Hecht, A. Zajac: Optics (Addison-Wesley, Reading 1980)
K. Izuka: Engineering Optics, 2nd. ed., Springer Ser. Opt. Sci., Vol. 35 (Springer, Berlin, Heidelberg 1987)