Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Phân Tích Nhiệt Độ Số Học Hai Chiều về Quy Trình Tái Kết Tinh Silicon Trên Chất Bảo Vệ Bằng Nguồn Nhiệt Di Chuyển
Tóm tắt
Quá trình tái kết tinh của polysilicon trên chất nền cách điện thông qua phương pháp nung chảy khu vực di chuyển đã được nghiên cứu thông qua các phương pháp mô phỏng máy tính. Các tham số quan trọng nhất như tốc độ di chuyển của bộ gia nhiệt dải trên, công suất của bộ gia nhiệt dải trên, và nhiệt độ chất nền đã được điều tra. Nói chung, hình dạng phân bố nhiệt độ trong lớp nhiều lớp và độ sâu nung chảy của poly-Si thường khó hình dung nhưng vẫn quan trọng đối với quá trình tái kết tinh. Do đó, bằng cách sử dụng phương pháp sai phân hữu hạn hai chiều, một phân tích số về quá trình tái kết tinh khu vực nung chảy di chuyển đã được phát triển. Thông qua phân tích này, hình dạng phân bố nhiệt độ trong lớp nhiều lớp và độ sâu nung chảy của poly-Si được mô tả.
Từ khóa
#tái kết tinh #polysilicon #chất nền cách điện #mô phỏng máy tính #phương pháp sai phân hữu hạnTài liệu tham khảo
citation_journal_title=Appl. Phys. Letter; citation_author=BY Tsaur, MW Geis, JCC Fan, DJ Silversmith, RW Mountain; citation_volume=39; citation_publication_date=1982; citation_pages=909; citation_doi=10.1063/1.92603; citation_id=CR1
citation_journal_title=Appl. Phys. Letter; citation_author=TJ Stultz, JF Gibbons; citation_volume=41; citation_publication_date=1982; citation_pages=824; citation_doi=10.1063/1.93708; citation_id=CR2
citation_journal_title=Appl. Phys. Lett.; citation_author=DK Biegelson, NW Johnson, DJ Bartelink, JD Moyer; citation_volume=38; citation_publication_date=1981; citation_pages=150; citation_doi=10.1063/1.92282; citation_id=CR3
citation_journal_title=Appl. Phys. Letter; citation_author=A Gat, L Gerzberg, JF Gibbons, TJ Magee, J Peng, JD Hong; citation_volume=33; citation_publication_date=1978; citation_pages=775; citation_doi=10.1063/1.90501; citation_id=CR4
citation_title=Extended Abstract, 161 Meeting of the Electrochemical Society, Montreal, Canada; citation_publication_date=1982; citation_id=CR5; citation_author=YL Coz; citation_author=EW Maby; citation_author=DA Antoniadis; citation_author=T Roussons; citation_author=B Mikic, P
citation_title=Principles of Heat Transfer; citation_publication_date=1973; citation_id=CR6; citation_author=F Kreith