Các hỗn hợp màng mỏng được tổng hợp bằng phương pháp PLD chéo chùm

Applied Physics A Solids and Surfaces - Tập 69 - Trang S463-S466 - 1999
A.A. Gorbunov1, A.E. Tselev1, D. Elefant2, H. Geisler1, G. Henninger2, A. Mensch1, D.C. Meyer3, B. Wolf3, P. Paufler3, W. Pompe1, C.M. Schneider2, H. Worch1
1Institut für Werkstoffwissenschaft der TU Dresden, 01062 Dresden, Germany (Fax: +49-351/463-1422, E-mail: [email protected]), , DE
2Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden, 01177 Dresden, Germany, , DE
3Institut für Kristallographie und Festkörperphysik der TU Dresden, 01062 Dresden, Germany, , DE

Tóm tắt

Việc chế tạo các hỗn hợp màng rắn nhị phân không ổn định với thành phần biến đổi liên tục bằng phương pháp PLD chéo chùm được trình bày. Trong kỹ thuật này, các vật liệu được trộn trực tiếp trong khu vực giao thoa của các plasmas va chạm của các vật liệu mục tiêu riêng lẻ. Kỹ thuật này có thể mang lại lợi thế cho việc tổng hợp các dung dịch giả rắn của các vật liệu có khả năng hòa tan một phần, nơi mà người ta có thể kỳ vọng vào những tính chất cơ học thú vị và các biến đổi từ tính.

Từ khóa

#hỗn hợp màng mỏng #PLD chéo chùm #vật liệu nhị phân #dung dịch giả rắn #tính chất cơ học #biến đổi từ tính

Thông tin
Thông tin xuất bản

Applied Physics A Solids and Surfaces

Tập 69

S463-S466

Thông tin tác giả