Theory and Direct Measurement of Boron Segregation in SiO2 during Dry, Near Dry, and Wet O 2 Oxidation

Journal of the Electrochemical Society - Tập 125 Số 12 - Trang 2050-2058 - 1978
Richard B. Fair1, J. C. C. Tsai1
1Bell Laboratories, Reading, Pennsylvania 19604

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo