Vai Trò của Hydro trong Silicon Polycrystalline Được Tinh Chế Bằng Laser

Springer Science and Business Media LLC - Tập 744 - 2002
N. H. Nickel1, K. Brendel1
1Hahn-Meitner-Institut Berlin, Kekuléstr. 5, D-12489 Berlin, Germany

Tóm tắt

TÓM TẮTSilicon polycrystalline được sản xuất bằng cách tinh chế laser từ silicon vô định hình hydrat hóa chứa một lượng lớn hydro còn lại. Nguồn dự trữ hydro này có thể được sử dụng để khử trùng các khiếm khuyết của ranh giới hạt bổ sung bằng cách ủ các mẫu ở nhiệt độ thấp trong chân không. Thông tin về liên kết hydro được thu được từ các phép đo khuếch tán hydro. Quá trình tinh chế bằng laser dẫn đến sự gia tăng rõ rệt năng lượng liên kết hydro trong các mẫu poly-Si so với vật liệu tiền chất vô định hình. Silicon polycrystalline được tinh chế hoàn toàn chứa nồng độ H lên tới 17 at.%.

Từ khóa

#hydro #silicon polycrystalline #tinh chế laser #khuếch tán hydro #năng lượng liên kết hydro

Tài liệu tham khảo

10.1016/S0022-3093(01)00979-6

Lengsfeld, 2003, Laser Crystallization of Silicon

10.1016/S0022-3093(98)00331-7

10.1557/PROC-609-A20.3

10.1109/DISPL.1988.11315

10.1063/1.126134

10.4028/www.scientific.net/SSP.80-81.181

Beyer, 1999, Hydrogen in Semiconductors II, 61, 165

10.1103/PhysRevB.49.4579

10.1063/1.110829

Nickel, 1999, Hydrogen in Semiconductors II, 61, 83

Thông tin
Thông tin xuất bản

Springer Science and Business Media LLC

Tập 744

Thông tin tác giả