The Role of Homogeneous Reactions in Chemical Vapor Deposition

Journal of the Electrochemical Society - Tập 118 Số 4 - Trang 654 - 1971
Karl J. Sladek1
1Department of Chemical Engineering and Electronics Research Center, The University of Texas, Austin, Texas 78712

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo