Sự Biến Đổi Đặc Tính Chịu Mài Mòn Của Kim Cương Loại IIa (110) Khi Sử Dụng Cấy Carbon Và Nitrogen

Springer Science and Business Media LLC - Tập 242 - Trang 171-176 - 1991
Gregory C. Anderson1, Steven Prawer2, Peter N. Johnston1
1Department of Applied Physics and Microelectronics and Materials Technology Centre, Royal Melbourne Institute of Technology, Melbourne, Australia
2School of Physics, University of Melbourne, Parkville, Australia

Tóm tắt

Nghiên cứu đã được thực hiện để tìm hiểu sự biến đổi của các đặc tính mài mòn của kim cương loại Ha sau khi cấy ion với carbon và nitrogen ở năng lượng 100 keV tại các nhiệt độ cấy là 150 và 470 K. Các thử nghiệm mài mòn bằng phương pháp kiểm tra trầy xước nhiều lần với tải trọng thấp và mũi khoan kim cương Rockwell đã cho thấy sự giảm sút trong khả năng chống mài mòn. Những biến đổi vi cấu trúc phát sinh từ việc cấy ion đã được đánh giá bằng phương pháp Quang phổ Phản xạ Rutherford Kênh hóa (C-RBS). Không có mối tương quan nào được tìm thấy giữa sự hiện diện của các khuyết tật điểm do chùm ion gây ra (như được đo bằng C-RBS) và sự gia tăng mức độ mài mòn. Không có sự khác biệt rõ rệt nào về tỷ lệ mài mòn được quan sát cho việc cấy nitrogen hoặc carbon.

Từ khóa

#kim cương #cấy ion #đặc tính mài mòn #vi cấu trúc #Quang phổ Phản xạ Rutherford Kênh hóa

Tài liệu tham khảo

E.M. Wilks, and J. Wilks, J. Phys. D 5, 1902 (1972). R.M. Chrenko, and H.M. Strong, Physical Properties of Diamond (G.E Technical Information Series, 1975). T. Evans, Contemporary Physics, 17 (1), 45–70, (1976). N.E.W. Hartley, Metastable Materials by Ion Implantation, Materials Research Society Papers, Edited by S.T. Picraux and W.J. Choyke, (Elsevier Science Publishing Co, 1982), p295. G.C. Anderson and S. Prawer, Surface Modification Technology III, ed. T.S. Sudarshan & D. G. Bahat, Pub. The Minerals, Metals and Materials Society, 1990, p. 37 J.F. Prins, Phys. Rev. B38, 5576 (1988). S. Prawer, A. Hoffman and R. Kalish, App. Phys. Letts., 57, 1990, p2187. M. Seal, Science and Technology of Industrial Diamonds, Proc. Int. Ind. Diamond Conf., Oxford, 1966. Vol 1: Science, p145.