Nghiên cứu về quá trình lắng đọng bằng laser xung của các lớp mỏng RuO2 và SrRuO3

Trong nghiên cứu này, quá trình xói mòn bằng laser xung của RuO2 và SrRuO3 (SRO) được điều tra bằng cách quan sát độ huỳnh quang từ các nguyên tử kích thích trong làn khói bằng cách sử dụng máy chụp ảnh quét thời gian. Sự bay hơi, bùng nổ pha và sôi được cho là đóng vai trò chính trong quá trình tương tác giữa chùm tia laser và vật thể mục tiêu. Các va chạm và sự giãn nở adiabatic cũng được cho là xảy ra trước khi các hạt di chuyển về phía trước với phân phối Maxwellian không gian bị dịch chuyển. Trong áp suất O2, có nhiều va chạm giữa các nguyên tử nhanh và chậm xảy ra và dẫn đến sự trao đổi vận tốc. Các tính chất cấu trúc và điện (điện trở và chức năng làm việc) của các lớp mỏng RuO2 và SRO được đo lường. Tăng trưởng SRO theo kiểu epitaxy đã đạt được ở nhiệt độ tăng trưởng xuống tới 350 °C. Các tụ điện lớp mỏng ferroelectric và điện môi cao với điện cực lớp mỏng RuO2 hoặc SRO cũng được nghiên cứu.