Phân Tích Thống Kê Về Thử Nghiệm Nanoimpact Của Các Lớp Phủ CrAl(Si)N Cứng

Springer Science and Business Media LLC - Tập 1339 - Trang 1-6 - 2011
A. Mosquera1, L. Mera2, G. S. Fox-Rabinovich3, A. Martínez4, I. Azkona5, J. L. Endrino1
1Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Madrid, Spain
2AIMEN, Porrino, Spain
3Department of Mechanical Engineering, McMaster University, Hamilton, Canada
4AIN-Centro de Ingeniería Avanzada de Superficies, Cordovilla, Spain
5Metal Estalki, Polígono Ugaldeguren 1 Ctra., Derio, Spain

Tóm tắt

Các nghiên cứu thống kê liên quan đến hành vi nứt của các lớp phủ có thể đóng vai trò quan trọng trong phân tích cơ học của các màng được sử dụng trong ngành công nghiệp lớp phủ cứng. Trong nghiên cứu này, các thử nghiệm Nanoimpact sử dụng công cụ nhấn góc khối đã được thực hiện trên nhiều lớp phủ CrAl(Si)N nhằm đánh giá định lượng các thuộc tính của lớp phủ như thời gian hỏng không thảm họa và thời gian hỏng thảm họa. Các tham số này giảm theo giá trị khi silicon được bổ sung vào lớp phủ, cho thấy rằng sự bổ sung này dẫn đến sự giảm độ dẻo. Hình ảnh từ kính hiển vi quét điện tử đã được chụp cho các lớp phủ đã được phân tích, thể hiện các dấu ấn còn lại sau thử nghiệm nanoimpact, và có mối tương quan với hành vi nứt của các lớp phủ CrAl(Si)N.

Từ khóa

#Phân tích thống kê #thử nghiệm nanoimpact #lớp phủ CrAl(Si)N #độ dẻo #kính hiển vi quét điện tử

Tài liệu tham khảo

S. Khamseh, M. Nose, T. Kawabata, K. Matsuda, S. Ikeno, Materials Transactions 51, 271 (2010). L. Wang, G. Zhang, R. J. K. Wood, S. C. Wang, Q. Xue, Surface and Coatings Technology 204, 3517 (2010). J. L. Endrino, S. Palacín, M. H. Aguirre, A. Gutiérrez, F. Schäfers, Acta Materialia 55, 2129 (2007). J. L. Endrino, S. Palacín, A. Gutiérrez, F. Schäffers, J. E. Krzanowski, Journal of Materials Science 42, 7607 (2007). A. Mosquera, L. Mera, G. S. Fox-Rabinovich, R. Martínez, I. Azkona, J. L. Endrino, Nanoscience and Nanotechnology Letters 2, 352 (2010). J. C. A. Batista, C. Godoy, A. Matthews, Surface and Coatings Technology 163–164, 353 (2003). S. J. Suresha, R. Bhide, V. Jayaram, S. K. Biswas, Materials Science and Engineering: A 429, 252 (2006). K. Matoy, H. Schönherr, T. Detzel, T. Schöberl, R. Pippan, C. Motz, G. Dehm, Thin Solid Films 518, 247 (2009). X. z. Ding, X. T. Zeng, Y. C. Liu, F. Z. Fang, G. C. Lim, Thin Solid Films 516, 1710 (2008). M. A. Meyers, Mechanical Behavior of Materials, 1st ed. (Prencite-Hall, New Jersey, 1999) p. 627.