Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Các khía cạnh đặc biệt của sự hình thành cấu trúc của lớp đa thành phần trong plasma hồ quang chân không
Tóm tắt
Ranh giới pha là một rào cản năng lượng đối với các nguyên tử khuếch tán. Để giảm tốc độ khuếch tán, các cấu trúc đa thành phần được đóng gói dày đặc đã được sử dụng. Mối tương quan giữa các phương pháp thu được và các thuộc tính của lớp phủ đa thành phần được hình thành trong một chu trình chế tạo đơn lẻ thông qua tổng hợp từng bước carbua của vật liệu nền và sự lắng đọng bức xạ của các lớp zirconium và carbua zirconium đã được nghiên cứu.
Từ khóa
#ranh giới pha #khuếch tán #cấu trúc đa thành phần #plasma hồ quang chân không #lớp phủ multilayerTài liệu tham khảo
E. Fitzer, H. Herbst, and J. Schlichting, Werkst. Korros. 24(4), 274 (1973).
Yu. A. Bystrov, N. Z. Vetrov, and A. A. Lisenkov, Tech. Phys. Lett. 36, 570 (2010).
N. R. Gal’, E. V. Rut’kov, and A. Ya. Tontegode, Tech. Phys. 47, 474 (2002).
Yu. A. Bystrov, N. Z. Vetrov, and A. A. Lisenkov, Tech. Phys. Lett. 38, 938 (2012).
V. E. Semenenko and N. N. Pilipenko, Vopr. Atom. Nauki Tekhnol., Ser. Vakuum Chist. Mater. Sverkhprovod. 17(1), 205 (2008).
N. R. Gall’, E. V. Rut’kov, and A. Ya. Tontegode, Ross. Khim. Zh. 47(2), 13 (2003).