Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Cảm biến áp suất đất mini làm từ silicon đơn tinh thể và việc đo hệ số độ nhạy của nó
Tóm tắt
Một bài kiểm tra hiệu chuẩn đã được thực hiện nhằm mục đích đo hệ số độ nhạy của cảm biến thử nghiệm đất cải tiến. Kết quả thực nghiệm cho thấy cảm biến áp suất đất mini làm từ silicon đơn tinh thể (SPM-MS) được chứng minh là có tính tuyến tính tốt, độ chính xác cao và ít phân tán, có thể thu được dữ liệu chính xác trong phạm vi áp suất thấp, ngay cả gần điểm O, điều này đảm bảo tính tin cậy của việc thử nghiệm áp suất đất trong kỹ thuật địa kỹ thuật.
Từ khóa
#cảm biến áp suất đất #silicon đơn tinh thể #hiệu chuẩn #kỹ thuật địa kỹ thuậtTài liệu tham khảo
Prudenziati M.Thick Film Sensor Handbook of Sensor and Acatuators' S. The Netherlands: Elsevier, 1994:189–208
Ju Chuanwen, Yang Xiuzhen, Wang Chaoyong. Application of Bellows Pressure Sensor.Journal of Transducer Technology, 2002, 21(8):50–52
Wang Yunzhang. The Study on the Adhesive Sealing Technology for Strain Transducers.J. Process Automation Instrumentation, 1999, 20(10):36–40
Yin Fuyan. Thin-film Gauge and Sensor.J Sensor World. 1997, 6:30–36
Mu Wenzhai, Zhao Yiquan. Sensor of Strain-Resistor and ITS Application in High-Strain Dynamic Testing of Piles.J. Earthquake Research in Plateau, 1997, 9(2):43–48
Edited by Ma Liangcheng, Feng Renxian, Xu Debing.Strain Detection and Transducer Technology. Beijing: China Measure Press, 1993, 11:439–444
Shen Guifen. Analyses of Sensitivity Characteristic for Piezoresistive Sensor.Journal of transducer Technology, 1999, 18 (4):17–20
K Arshak, R Perrem. Fabrication of Thin Film Strain Gange Transducer using Bi2O3−V2O5.J. Sensor and Actuators, 1993, A36:73–76
Stecher G, Spitzenberger K; Muller K. Pressure Sensor. P.US: 4382247, 1983-05-23
Wang Hongye.The Transducer Technology. Hunan: Hunan Press of Science and Technology, 1985, 7:204–206
Huang Yunfei.The Utility Technology of Deep Foundation Ditch. Beijing: Weapon Industry Press, 1996, 11:490–492