Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Mô phỏng quá trình hình thành relief phát triển của các lớp phim đã được lắng đọng
Tóm tắt
Quá trình phát triển của các lớp phim do sự kết hợp của các nguyên tử đơn lẻ được lắng đọng trên một bề mặt cơ sở và tham gia vào quá trình khuếch tán trên bề mặt phim đã được mô phỏng bằng phương pháp Monte Carlo sử dụng một mã số liệu phức tạp. Các cấu trúc kiểu cột và kiểu “bông cải” giống như các đối tượng hình thành trong việc tạo ra các lớp phủ công nghệ cho các mục đích cụ thể, cũng như trong các thiết bị hợp nhất, đã được thu được trong mô phỏng. Các giá trị mà tại đó các thông số đặc trưng cho quá trình lắng đọng (luồng nguyên tử và hàm lượng nguyên tử tạp chất) và các thuộc tính của bề mặt cơ sở (nhiệt độ và hệ số khuếch tán trên bề mặt), cũng như sự hình thành từng loại nanorelief của các lớp phim đã được lắng đọng, đã được xác định.
Từ khóa
Tài liệu tham khảo
www.elestim-cardio.ru/to-doctors/information/
V. P. Budaev and L. N. Khimchenko, “Fractal structure of films deposited in tokomak,” JETP 104(4), 629 (2007).
L. N. Khimchenko, V. P. Budaev, M. I. Guseva, et al., “Fractal growth of deposited films in tokamaks,” in Proc. 31st EPS Conf. on Plasma Phys. (London, 28 June–2 July 2004), Vol. 28G, p. 146.
M. Rubel, J. von Seggern, P. Karduck, V. Philips, and A. Vevecka-Prital, “Analysis and oxidation of thick deposits on Textor plasma facing components,” J. Nucl. Mater. 266–269, 1185 (1999).
J. A. Thornton, “Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings,” J. Vac. Sci. Technol. 11, 666–670 (1974).
ITER Non-Site Specific Safety Report (NSSR-2), Vol. 3: Radiological and Energy Source Term; Vol. 4: Effluents and Emissions (ITER San Diego Joint Work Site, 1998).
Yu. V. Martynenko and M. Yu. Nagel’, “The formation of the developed nanorelief on deposited films,” Nanotechnol. Russ. 4(9–10), 612 (2009).
S. Lucas and P. Moskovkin, “Simulation at high temperature of atomic deposition, islands coalescence, Ostwald and inverse Ostwald ripening with a general simple kinetic Monte Carlo code,” Thin Solid Films 518(18), 5355 (2010).
M. Yu. Nagel’ and Yu. V. Martynenko, “Modeling of film growth under deposition,” Nanotechnol. Russ. 6(9–10), 613 (2011)..
O. Knake and I. N. Stranskii, “Evaporation mechanism,” Usp. Fiz. Nauk 68(2), 261–305 (1959).
F. P. Bowden and K. E. Singer, “Surface self-diffusion of tungsten,” Nature 222, 977–979 (1969).
L. B. Begrambekov, “Surface erosion and transformation under ion bombardment,” in Scientific Results. Beams of Charged Particles and Solids (All-Russian Institute of Scientific and Technical Information of the Russian Academy of Sciences, Moscow, 1993), Vol. 7, p. 4 [in Russian].
L. Chen, T.-M. Lu, and G.-C. Wang, “Incident flux angle induced crystal texture transformation in nanostructured molybdenum films,” J. Appl. Phys. 112, 024303 (2012).