Các lớp phủ nitrua silicon được hình thành bằng kỹ thuật Lắng đọng Laser Khu vực Chọn lọc (SALD)

13. Harrison S. and Marcus H. L. , submitted to J. of American Ceramic Society, (1998).

10.1021/j100196a041

5. Sun L. , Jakubenas K. J. , Crocker J. E. , Harrison S. , Shaw L. L. and Marcus H. L. , Solid Freeform Fabrication Proceedings, The University of Texas at Austin, 1997, 481–488

10.1126/science.270.5242.1644

1. Hampshire S. , “Engineering Properties of Nitrides, in Engineering Materials Handbook, Vol.4: Ceramic and Glass,” S. J. Schneieder, Ed. ASM International, 1991, pp804–811.

8. User's Manual, Bruker Analytical X-ray systems, Bruker AXS Co (Siemens Co.).

10.1126/science.267.5202.1274

7. Tompkins J. , Ph.D. Dissertation, The University of Texas at Austin, (1998).

10.1016/0022-0248(92)90293-R

10.1111/j.1151-2916.1967.tb15131.x

4. Crocker J. E. , Jakubenas K. J. , Harrion S. and Marcus H. L. , Solid Freeform Fabrication Proceedings, The University of Texas at Austin, 1997, 489–496.

10.1016/0022-0248(91)90290-L

Sun, 1998, Materials and Manufacturing Processes, 13