Tổng quan: Cơ chế phun tác động đối với chất rắn vô định hình và đa tinh thể

I. S. T. Tsong1, D. J. Barber1
1Department of Physics, University of Essex, Colchester, UK

Tóm tắt

Trong bài viết này, các phát triển gần đây trong lý thuyết phun tác động của các mục tiêu vô định hình và đa tinh thể được xem xét và so sánh với các dữ liệu thực nghiệm hiện có. Sự chú ý đặc biệt được dành cho sự khác biệt trong các phương pháp lý thuyết khác nhau về vấn đề năng suất phun tác động và những kết luận được rút ra từ đó.

Từ khóa

#phun tác động #chất rắn vô định hình #chất rắn đa tinh thể #lý thuyết phun tác động #năng suất phun tác động

Tài liệu tham khảo

M. W. Thompson,Phil. Mag. 18 (1968) 377.

P. Sigmund,Phys. Rev. 184 (1969) 383.

W. Brandt andR. Laubert,Nucl. Instr. Meth. 47 (1967) 201.

J. B. Sanders, thesis, University of Leiden (1967).

M. W. Thompson, “Defects and Radiation Damage in Metals” (Cambridge University Press, 1969).

J. Lindhard, V. Nielsen, M. Scharff, andP. V. Thomson,Kgl. Danske Videnskab Selskab, Mat.-Fys. Medd. 33 no. 10 (1963).

J. Lindhard, M. Scharff, andH. E. Schiøtt,ibid 33 no. 14 (1963).

J. Lindhard, V. Nielsen, andM. Scharff,ibid 36 no. 10 (1968).

J. B. Sanders,Canad. J. Phys. 46 (1968) 455.

P. Sigmund,ibid 46 (1968) 731.

P. Sigmund andJ. B. Sanders, Proc. of Intnl. Conf. on Appl. of Ion Beams to Semicond. Technology (Editions Ophrys, Paris, 1967). p. 215.

E. Sawatzky andE. Kay,Rev. Sci. Instrum. 37 (1966), 1324.

I. S. T. Tsong,Phys. Stat. Sol. (a)7 (1971) 451.

P. Ciuti,Nucl. Instrum. Meth. 79 (1970) 55.

R. J. MacDonald,Phil. Mag. 21 (1970) 519.

D. J. Mazey, R. S. Nelson, andR. S. Barnes,ibid 17 (1968) 1145.

M. Bader, F. C. Witteborn, andT. W. Snouse, NASA Report No. TR-R-105, Washington (1961).

O. C. Yonts, C. E. Normand, andD. E. Harrison,J. Appl. Phys. 31 (1960) 447.

O. Almen andG. Bruce,Nucl. Instrum. Meth. 11 (1961) 257.

A. L. Southern, W. R. Willis, andM. T. Robinson,J. Appl. Phys. 34 (1963) 153.

P. K. Rol, J. M. Fluit, andJ. Kistemaker,Physica 26 (1960) 1000.

M. I. Guseva,Soviet Phys. Solid State 1 (1959) 1410.

C. H. Weijsenfeld,Philips Res. Rep. Supp. No. 2 (1967).

G. Dupp andA. Scharmann,Z. Physik 192 (1966) 284.

G. V. Jorgensen andG. K. Wehner,J. Appl. Phys. 36 (1965) 2672.

P. D. Davidse andL. I. Maissel,J. Vac. Sci. Technol. 4 (1967) 33.

C. E. Ramer, M. A. Barasimham, H. K. Reynolds andJ. C. Allerd,J. Appl. Phys. 35 (1964) 1673.

H. Bach,J. Non-Cryst. Solids 3 (1970) 1.

J. Lindhard,Kgl. Danske Videnskab Selskab Mat. Fys. Medd. 34 no. 14 (1965).

I. N. Evdokimov andV. A. Molchanov,Canad. J. Phys. 46 (1968) 779.

V. A. Molchanov andV. G. Telkovskii,Soviet Phys. Doklady 6 (1961) 397.

G. Dupp andA. Scharmann,Z. Physik 194 (1966) 448.

K. B. Cheney, andE. T. Pitkin,J. Appl. Phys. 36 (1965) 3542.

A. J. Summers, J. J. Freeman, andN. R. Daly,J. Appl. Phys. 42 (1971) 4774.

H. Bach,Naturwissenschaften 55 (1968) 439.

G. K. Wehner, R. V. Stuart, andD. Rosenberg, General Mills Annual Report of Sputtering Yields, Report No. 2243 (1961).

H. Bach,Nucl. Instrum. Meth. 84 (1970) 4.

Idem, Z. Naturforsch. 27a (1972) 333.

H. H. Andersen andH. Bay,Radiation Effects 13 (1972) 67.

H. H. Andersen,ibid 3 (1970) 51.