Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Nâng cao độ chính xác trong việc giám sát quá trình lắng đọng lớp phủ quang học bằng cách áp dụng thuật toán phân tích dữ liệu phi địa phương
Tóm tắt
Bài báo này xem xét vấn đề ngược của việc điều khiển lắng đọng lớp phủ nhiều lớp thông qua việc giám sát quang học. Một số thuật toán phi địa phương mới được giới thiệu để phân tích dữ liệu. Bằng cách mô phỏng quá trình lắng đọng, các sai số của thuật toán phi địa phương đề xuất và thuật toán địa phương truyền thống được so sánh. Một số sơ đồ điều chỉnh các mức kết thúc quá trình lắng đọng được xem xét nhằm nâng cao độ chính xác trong việc giám sát lắng đọng. Chúng tôi chỉ ra rằng thuật toán phi địa phương hiệu quả hơn cả trong việc lắng đọng không cần điều chỉnh mức tín hiệu cho việc ngắt lắng đọng cũng như có điều chỉnh mức này.
Từ khóa
#quá trình lắng đọng #lớp phủ quang học #thuật toán phi địa phương #giám sát quang học #phân tích dữ liệuTài liệu tham khảo
A. Macleod, “Monitoring of Optical Coatings,” Appl. Opt. 20, 82–89 (1981).
A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Investigation of the Error Selfcompensation Effect Associated with Broadband Optical Monitoring,” Appl. Opt.50, C111–C116 (2011).
V. Zhupanov, I. Kozlov, V. Fedoseev, P. Konotopov, M. Trubetskov, and A. Tikhonravov, “Production of Brewster Angle Thin Film Polarizers Using a ZrO \(_2 \)/SiO\(_2 \) Pair of Materials,” Appl. Opt. 56, C30–C34 (2017).
A. Zöller, M. Boos, R. Goetzelmann, H. Hagedorn, B. Romanov, and M. Viet, “Accuracy and Error Compensation with Direct Monochromatic Monitoring,” inOptical Interference Coatings (2013), p. WB5 [OSA Technical Digest Series].
A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Investigation of the Effect of Accumulation of Thickness Errors in Optical Coating Production Using Broadband Optical Monitoring,” Appl. Opt. 45, 7026–7034 (2006).
A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Statistical Approach to Choosing a Strategy of Monochromatic Monitoring of Optical Coating Production,” Appl. Opt. 45, 7863–7870 (2006).
F. Zhao, “Monitoring of Periodic Multilayers by the Level Method,” Appl. Opt. 24, 3339–3342 (1985).
A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, and T. V. Amotchkina, “Optical Monitoring Strategies for Optical Coating Manufacturing,” in Optical Thin Films and Coatings: From Materials to Applications (Woodhead Pub., Philadelphia, 2018), pp. 65–101.
M. Born and E. Wolf, Principles of Optics: Electromagnetic Theory of Propagation, Interference, and Diffraction of Light (Univ. Press, Cambridge, 2013).
T. F. Isaev, I. V. Kochikov, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, and A. G. Yagola, “Regularizing Algorithms for the Determination of Thickness of Deposited Layers in Optical Coating Production,” Eurasian J. Math. Comput. Appl. 6 (4), 38–47 (2018).
I. V. Kochikov, Iu. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, and A. G. Yagola, “A Nonlocal Algorithm for Data Analysis of Monochromatic Control of the Process of Multilayered Coating Production,” Vychisl. Metody i Programmirovanie20, 471–480 (2019).
T. F. Isaev, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, and A. G. Yagola, “Algorithms for Solving Inverse Problems in the Optics of Layered Media Based on Comparing the Extrema of Spectral Characteristics,” Comput. Math. Math. Phys. 57 (5), 867–875 (2017).