Pseudo-analytical modelling of stress dependent silicon oxidation

Microelectronic Engineering - Tập 19 - Trang 491-494 - 1992
D. Collard1, B. Baccus1, V. Senez1
1IEMN, UMR CNRS 9929, Département ISEN, 41 BD Vauban, 59046 Lille Cedex France

Tài liệu tham khảo