Pseudo-analytical modelling of stress dependent silicon oxidation

Microelectronic Engineering - Tập 19 - Trang 491-494 - 1992
D. Collard1, B. Baccus1, V. Senez1
1IEMN, UMR CNRS 9929, Département ISEN, 41 BD Vauban, 59046 Lille Cedex France

Tài liệu tham khảo

Kao, 1988, IEEE, ED-35, 410 Sutardja, 1989, IEEE, ED-36, 2415 Rafferty, 1991, 91–94, 756 Guillemot, 1987, IEEE, ED-34, 1033 Umimoto, 1989, IEEE, CAD-8, 599
Thông tin
Thông tin xuất bản

Microelectronic Engineering

Tập 19

491-494

Thông tin tác giả