Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Máy phân tích khí NO2 di động trong khoảng nồng độ 0.02-2 ppm dựa trên cảm biến MDS
Tóm tắt
Một máy phân tích khí NO2 di động được chế tạo dựa trên cảm biến MDS sử dụng công nghệ lắng đọng laser cho các màng mỏng. Máy phân tích khí này đo các nồng độ NO2 nhỏ trong khoảng từ 0.02-2.0 ppm.
Từ khóa
#NO2 #máy phân tích khí #cảm biến MDS #lắng đọng laser #nồng độ khíTài liệu tham khảo
S. Baratto et al., Thin Solid Films, 391, 261 (2001).
D. Tsiuluanu et al., Sensors and Actuators B, 73, 35 (2002).
A. Gurio et al., Sensors and Actuators B, 47, 92 (1998).
I. Lundstrom and C. Svensson, J. Appl. Phys., 26, 55 (1975).
I. N. Nikloaev and Yu. A. Utochkin, Prib. Sist. Upravl., No. 5, 46 (1999).
I. N. Nikolaev et al., Izmer. Tekh., No. 6, 67 (2004).