Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Phân tách pha trong quá trình lắng đọng màng
Tóm tắt
Chúng tôi báo cáo một nghiên cứu về cấu trúc vi mô và hình thái bề mặt của các màng Al-Ge lắng đọng cùng nhau. Ở nhiệt độ 200 °C và cao hơn, các dung dịch rắn cuối cùng được hình thành, trong khi ở nhiệt độ thấp hơn, các pha vô định hình hoặc tinh thể không ổn định đồng tồn tại với pha cuối giàu Al. Đối với độ dày màng dưới 200 nm, sự phân tách pha bên ngang được quan sát thấy với các rãnh bề mặt phản ánh cấu trúc vi mô thể khối. Phân tích dữ liệu với mô hình cho quá trình khuếch tán cho thấy các kết quả phù hợp với cơ chế khuếch tán bề mặt. Đối với các màng dày hơn, có sự chuyển tiếp vào cấu trúc vi mô nhiều lớp trong đó Al phân tách ra bề mặt. Sự chuyển tiếp này được giải thích dựa trên năng lượng bề mặt và năng lượng giao diện của các pha.
Từ khóa
#Al-Ge films #microstructure #surface morphology #solid solutions #phase separation #diffusion processTài liệu tham khảo
B. A. Movchan and A. V. Demchishin, Phys. Met. Metallogr. 28, 83 (1969).
Binary Alloy Phase Diagrams, ed. T. B. Massalski, (ASM, Metals Park 1986), p. 116.
U. Koster, Z. Metallk. 63, 472 (1972).
See, e.g., A. Cottrell, An Introduction to Metallurgy, (Arnold, London1975), p. 340.
J. W. Cahn, Acta Met. 7, 18 (1959).
D. Kessler and H. Levine, Phys. Rev. A39, 3041 (1989), and T. Dombre and V. Hakim, Phys. Rev. A36, 2811 (1987).
T. E. Vollin, and R. W. Balluffi, Phys. Stat. Solidi 25, 163, (1968).
J. Burke, and T. R. Ramachandran, Met. Trans. 3, 147–55, (1972).
H. Widmer and G. R. Gunther-Mohr, Helv. Phys. Acta., 34, 635, (1961).
N. L. Peterson and S. J. Rothman, Phys. Rev. B1, 3264, (1970).
B. Ya Pines and Z. Z. Zyman, Fiz. Metal. Metalloved 25, 840 (1968).