Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Các Phim Oxit Nanostructure Dùng Cho Cảm Biến Độ Ẩm Tốc Độ Cao
Tóm tắt
Các cảm biến độ ẩm mỏng miniaturized đã được chế tạo bằng các vật liệu nanostructured được lắng đọng thông qua một kỹ thuật tiên tiến gọi là lắng đọng góc nghiêng (GLAD). Những cảm biến này thể hiện thời gian phản hồi giải hấp cực nhanh, ít hơn 40 ms đối với những biến đổi độ ẩm theo kiểu bậc thang. Nhiều phép đo thời gian phản hồi cho các độ ẩm ban đầu khác nhau đã cho thấy các cảm biến duy trì thời gian phản hồi nhanh của chúng ở tất cả các mức độ ẩm.
Từ khóa
#cảm biến độ ẩm #phim oxit #cấu trúc nano #kỹ thuật lắng đọng góc nghiêng #thời gian phản hồiTài liệu tham khảo
Z. M. Rittersma, Sensor. Actuat. A-Phys. 96 (2–3), 196–210 (2002).
P. R. Wiederhold, Water vapor measurement, 1st ed. (Marcel Dekker, New York, 1997) p. 357.
U. Kang and K. D. Wise, IEEE Trans. Elect. Dev. 47, 702–710 (2000).
C. Laville and C. Pellet, IEEE Trans. Bio-Med. Eng. 49 (10), 1162–1167 (2002).
K. D. Harris, A. Huizinga and M. J. Brett, Electrochem. Solid St. 5 (11), H27–H29 (2002).
K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 5 866 204 (2 February 1999).
J. C. Sit, D. Vick, K. Robbie and M. J. Brett, J. Mater. Res. 14, 1197–1199 (1999).
D. Vick, Y. Y. Tsui, M. J. Brett and R. Fedosejevs, Thin Solid Films 350 (1–2), 49–52 (1999).
K. Robbie and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1460–1465 (1997).
K. Robbie, M. J. Brett and A. Lakhtakia, Nature 384 (6610), 616–616 (1996).
O. K. Varghese, D. W. Gong, M. Paulose, K. G. Ong, C. A. Grimes and E. C. Dickey, J. Mater. Res. 17, 1162–1171 (2002).
A. T. Wu, M. Seto and M. J. Brett, Sensor. Mater. 11, 493–505 (1999).
A. T. Wu and M. J. Brett, Sensor. Mater. 13, 399–431 (2001).
K. D. Harris, A. Huizinga and M. J. Brett, Meas. Sci. Technol. 13, N10–N11 (2002).
K. D. Harris, D. Vick, E. J. Gonzalez, T. Smy, K. Robbie and M. J. Brett, Surf. Coat. Tech. 138 (2–3), 185–191 (2001).
K. S. Chou, T. K. Lee and F. J. Liu, Sensor. Actuat. B-Chem. 56 (1–2), 106–111 (1999).
H. Arai and T. Seiyama, in Sensors A Comprehensive Survey, edited by W. Gopel, J. Hesse and J. N. Zemel (VCH, Weinheim, 1992) pp. 981–1012.
D. Vick, T. Smy, B. Dick, S. Kennedy and M. J. Brett, in Growth, Evolution and Properties of Surfaces, Thin Films and Self-Organized Structures. Symposium, edited by S. C. Moss, D. B. Poker and D. Ila, (Mater. Res. Soc, Boston, MA, USA, 2001) pp. P3.43.1–6.
K. D. Harris, K. L. Westra and M. J. Brett, Electrochem. Solid St. 4, C39–C42 (2001).