Molecular dynamics and Monte-Carlo simulation of sputtering and mixing by ion irradiation

Elsevier BV - Tập 180 - Trang 312-316 - 2001
T. Aoki1, S. Chiba1, J. Matsuo1, I. Yamada1, J.P. Biersack2
1Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University, Sakyo, Kyoto 606-8501, Japan
2Hahn-Meitner Institute, Glienicker Strasse 100, D-14109 Berlin, Germany

Tài liệu tham khảo

Jiang, 1998, J. Vac. Sci. Technol. B, 16, 1971, 10.1116/1.590116 Stillinger, 1985, Phys. Rev. B, 31, 5262, 10.1103/PhysRevB.31.5262 Ziegler, 1985, 321 Biersack, 1991, Nucl. Instr. and Meth. B, 59/60, 21, 10.1016/0168-583X(91)95167-C Biersack, 1999, Nucl. Instr. and Meth. B, 133, 398, 10.1016/S0168-583X(98)01029-5 Biersack, 1984, Appl. Phys. A, 34, 73, 10.1007/BF00614759
Thông tin
Thông tin xuất bản

Elsevier BV

Tập 180

312-316

Thông tin tác giả