10.1016/0009-2614(74)85031-1
10.1146/annurev.physchem.58.032806.104523
Leftwich TR, 2008, Surf. Sci. Rep., 63, 1
10.1002/9783527610389.ch12
10.1146/annurev.physchem.52.1.681
10.1016/j.progsurf.2003.12.001
10.1126/science.283.5408.1683
10.1002/1439-7641(20020617)3:6<519::AID-CPHC519>3.0.CO;2-2
10.1126/science.285.5426.391
10.1126/science.287.5453.622
10.1088/0957-4484/15/7/052
10.1103/PhysRevB.68.035416
10.1126/science.286.5444.1550
10.1126/science.289.5482.1172
10.1002/(SICI)1521-3773(19980216)37:3<333::AID-ANIE333>3.0.CO;2-P
10.1126/science.302.5645.556
10.1007/s00339-004-3169-x
10.1016/j.aca.2005.10.027
10.1103/PhysRevB.72.125305
10.1002/1521-3773(20001215)39:24<4496::AID-ANIE4496>3.0.CO;2-L
10.1016/j.cplett.2007.06.012
10.1016/S0039-6028(99)01065-1
10.1016/S0167-5729(97)00003-4
10.1080/00218469708014419
10.1126/science.283.5403.814
10.1126/science.280.5370.1732
10.1103/PhysRevLett.70.218
10.1002/1521-3773(20010504)40:9<1749::AID-ANIE17490>3.0.CO;2-O
10.1126/science.278.5336.252
10.1103/PhysRevB.59.12505
10.1103/PhysRevB.78.235416
115. The International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).Process integration,devices,and structures. San Jose, CA: Semiconduct. Ind. Assoc. http://www.itrs.net/reports.html