Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Cấu trúc vi mô và hình thái bề mặt của màng Ag và Au được phát triển trên các bề mặt Si(111) được kết thúc bằng hydro
Tóm tắt
Nghiên cứu bằng phương pháp tán xạ điện tử năng lượng cao phản xạ (RHEED) và tán xạ tia X (XRD) trên các màng Ag và Au được phát triển trên các nền Si(111) được kết thúc bằng hydro ở nhiệt độ phòng cho thấy sự phát triển theo hướng <111>. Dữ liệu từ kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) cho thấy hình thái bề mặt nhẵn của cả hai loại màng Ag và Au sau khi xử lý nhiệt ở 275°C và 175°C trong 1 giờ, so với các màng không qua xử lý nhiệt. Kính hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao (HREM) đã được sử dụng để kiểm tra các mẫu đã qua xử lý nhiệt. Các nghiên cứu HREM cho thấy một màng đồng nhất cao với giao diện rõ ràng đối với Ag/Si(111). Mặt khác, Au/Si(111) cho thấy nhiều cấu trúc kiểu cặp song sinh cả ở giao diện và trong thể tích của màng.
Từ khóa
#Cấu trúc vi mô #màng Ag #màng Au #tán xạ điện tử năng lượng cao phản xạ #kính hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao.Tài liệu tham khảo
G. S. Higashi, R. S. Becker, Y. J. Chabal, and A. J. Becker, Appl. Phys. Lett. 58, 1656 (1991).
J. Terry, R. Cao, C. Wigren, and P. Pianetta, J. Vac. Sci. Tech. A 12, 1869 (1994).
Y. T. Chang, Y. L. Chen, M. M. Karmarker, and W. J. Meng, Appl. Phys. Lett. 59, 953 (1991).
C.-C Cho, and H.-Y Liu, Mater. Res. Soc. Proc. 221, 87 (1991).
P. Xu, P. Miller, and J. Silcox, Mater. Res. Soc. Proc. 202, 19 (1991).
B. G. Demczyk, R. Naik, G. Auner, C. Kota, and U. Rao, J. Appl. Phys. 75, 1956 (1994).
R. Naik, C. Kota, B. U. M Rao, and G. W. Auner, J. Vac. Sci. Tech. A 12, 1832 (1994).