Tóm tắt
TÓM TẮTChúng tôi đã phát triển một kỹ thuật chế tạo lithography mềm mới cho phép thực hiện các cột vi mô PDMS có tỷ lệ khía cạnh cao. Yếu tố quan trọng của kỹ thuật này là việc áp dụng kỹ thuật vẽ trực tiếp kết hợp với sự gia nhiệt in situ nhằm đồng thời cứng hóa và làm rắn các cột vi mô PDMS. Ngoài ra, kỹ thuật của chúng tôi cho phép lắp đặt tự định hướng các vi cầu phản chiếu mạnh ở đầu các cột vi mô. Với việc sử dụng cột vi mô PDMS trong suốt làm dẫn sóng linh hoạt và vi cầu làm gương phản chiếu tự định hướng, chúng tôi đã biến các cột vi mô PDMS có đầu vi cầu thành các cảm biến âm thanh được điều tra hoàn toàn bằng quang học, lấy cảm hứng từ lông filiform của con dế và thành công trong việc chứng minh khả năng cảm biến của chúng.
