Đo lường điện trở của các tiếp xúc trên các lớp bán dẫn

Springer Science and Business Media LLC - Tập 35 - Trang 585-589 - 1992
N. N. Polyakov

Tóm tắt

Một phương pháp đo điện trở của các tiếp xúc trên các lớp bán dẫn mỏng được đề xuất. Các công thức và mối quan hệ tính toán cho việc tính điện trở tiếp xúc và độ dẫn điện của lớp bán dẫn được thu được từ giải quyết bài toán biên tương ứng trong điện động học. Kỹ thuật được đề xuất cho phép sử dụng máy tính để xử lý dữ liệu thực nghiệm thu được cho các tiếp xúc đang được nghiên cứu. Sai số do việc sử dụng xấp xỉ mẫu mỏng được ước lượng.

Từ khóa

#điện trở tiếp xúc #lớp bán dẫn #độ dẫn điện #điện động học #xử lý dữ liệu thực nghiệm

Tài liệu tham khảo

V. V. Zadde and A. K. Zaitseva, Prib. Tekh. Éksp., No. 4, 111 (1969). V. Ya. Niskov and G. A. Kubetskii, Fiz. Tekh. Poluprovdn., No. 9, 1806–1808 (1970). L. D. Landau and E. M. Lifshitz, Electrodynamics of Continuous Media [in Russian], Nauka, Moscow (1982). V. V. Batavin, Yu. A. Kontsevoi, and Yu. V. Fedorovich, Measurement of Parameters of Semiconducting Materials and Structures [in Russian], Radio i Svyaz', Moscow (1985).