Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Đo đường cong ứng suất-biến dạng của màng mỏng SiOx kiểu PECVD bằng phương pháp nanoindentation
Tóm tắt
Trong bài báo này, chúng tôi khám phá việc sử dụng kỹ thuật nanoindentation như một phương pháp đo các đường cong ứng suất-biến dạng tương đương của các màng mỏng SiOx kiểu PECVD. Ba đầu nhọn với các hình dạng khác nhau đã được áp dụng trong các thí nghiệm của chúng tôi, cho phép chúng tôi khảo sát các chế độ biến dạng dẻo khác nhau trong các màng mỏng SiOx kiểu PECVD. Lý thuyết dẻo vô định hình dựa trên vùng biến dạng cắt (STZ) được áp dụng để mô tả cơ chế biến dạng dẻo cơ bản.
Từ khóa
Tài liệu tham khảo
M. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, 2nd ed. (CRC Press, Boca Raton, 2002).
A. H. Epstein and S.D. Senturia, Science 276, 1211 (1997).
Z. Cao and X. Zhang, J. Appl. Phys. 96, 4273 (2004) and the references therein.
L. B. Freund and S. Suresh, Thin Film Materials: Stress, Defect Formation and Surface Evolution (Cambridge University Press, New York, 2004).
W. C. Oliver and G.M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004) and the references therein.
A. K. Bhattacharya and W D Nix, Int. J. Solids Structures 24, 1287 (1988).10.1016/0020-7683(88)90091-1
A. F. Bower, N.A. Fleck, A. Needleman and N. Ogbonna, Proc. R. Soc. Lond. A 441, 97 (1993).
H. Li and A.H.W. Ngan, J. Mater. Res. 19, 513 (2004).
D. Tabor, The Hardness of Metals, Clarendon Press, Oxford, 1951.
K. L. Johnson, J. Mech. Phys. Solids 18, 115 (1970).
R. Hill, Proc. R. Soc. Lond. A 436 617 (1992).
W. H. Poisl, W.C. Oliver and B.D. Fabes, J. Mater. Res. 10, 2024 (1995).
B. Storåkers and P.L. Larsson, J. Mech. Phys. Solids 42, 307 (1994).
F. Spaepen, Acta Metall. 25, 407 (1977).10.1016/0001-6160(77)90232-2
A. S. Argon, Acta Metall, 27, 47 (1979).
M. L. Falk and J.S. Langer, Phys. Rev. E 57, 7192 (1998).
J. S. Langer, Phys. Rev. E 64, 011504 (2001).
E. Martínez, J. Romero, A. Lousa and J. Esteve, Appl. Phys. A 77, 419 (2003).
T. H. Courtney, Mechanical Behavior of Materials, 2nd ed., McGraw Hill Press, Boston, 2000.
D. C. Drucker, Proc. 1st US Natl. Congress Appl. Mech (Chicago, 1951), p.487, A.S.M.E. Press, New York, 1952.
C. A. Schuh and T.G. Nieh, J. Mater. Res. 19, 46 (2004) and the references therein.