Laser writing techniques for photomask fabrication using a femtosecond laser

Applied Physics A Solids and Surfaces - Tập 74 Số 4 - Trang 493-496 - 2002
Krishnan Venkatakrishnan1, B. K. A. Ngoi1, P. Stanley1, L. E. N. Lim1, Bo Tan1, N.R. Sivakumar1
1Precision Engineering and Nanotechnology Centre, School of Mechanical and Production Engineering, Nanyang Technological University,Nanyang Avenue, Singapore 639 798, SG

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Applied Physics A Solids and Surfaces

Tập 74 Số 4

493-496

Thông tin tác giả