Ion bombardment diagnostics in a nitrogen RF magnetron sputtering discharge

Surface and Coatings Technology - Tập 97 - Trang 131-139 - 1997
R. Kaltofen1, T. Sebald1, G. Weise1
1Institute of Solid State and Materials Research Dresden, IFF, Helmholtzstrasse 20, D-01171 Dresden, Germany

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Surface and Coatings Technology

Tập 97

131-139

Thông tin tác giả