Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Ảnh hưởng của tiềm năng tương tác đến dữ liệu phác thảo và phản xạ mô phỏng
Tóm tắt
Chương trình TRIM.SP, dựa trên sự xấp xỉ va chạm nhị phân, đã được thay đổi để xử lý không chỉ các tiềm năng tương tác đẩy, mà còn cả các tiềm năng có phần thu hút. Các mức độ phun, độ sâu trung bình và hệ số phản xạ được tính toán với bốn tiềm năng khác nhau được so sánh. Ba tiềm năng hoàn toàn đẩy (Molière, Kr-C và ZBL) được sử dụng và một tiềm năng cặp ab initio, đặc biệt được tính toán cho sự bắn phá silicon bởi silicon. Các xu hướng chung trong các kết quả đã tính toán tương tự cho tất cả các tiềm năng được áp dụng, nhưng sự khác biệt giữa các tiềm năng đẩy và tiềm năng ab initio xảy ra đối với các hệ số phản xạ và mức độ phun tại các góc tới lớn.
Từ khóa
#sputtering #reflection coefficients #interaction potential #TRIM.SP #ab initioTài liệu tham khảo
Stillinger, F.H., Weber, T.A.: Phys. Rev. B31, 5262 (1985)
Tersoff, J.: Phys. Rev. B37, 6991;38, 9902 (1988)
Harrison, D.E. Jr.: CRC critical reviews in solid state and material sciences, vol. 14, Suppl. 1. Boca Raton: CRC-Press 1988
Eckstein, W.: Computer simulation of ion-solid interactions, Springer Series in Materials Science 10. Berlin, Heidelberg, New York: Springer 1991
Molière, G.: Z. Naturforsch. A2, 133 (1947)
Wilson, W.D., Haggmark, L.G., Biersack, J.P.: Phys. Rev. B15, 2458 (1977)
Ziegler, J.F., Biersack, J.P., Littmark, U.: The stopping and range of ions in solids, vol. 1. New York: Pergamon Press 1985
O'Connor, D.J., Biersack, J.P.: Nucl. Instrum. Methods B15, 14 (1986)
Heinemann, D., Rosén, A., Fricke, B.: Phys. Scr.41, 692 (1990)
Hackel, S., Fricke, B., Heinemann, D., Kolb, D., Yang, L.: GSI-90-1, p. 165 (1990)
Biersack, J.P., Eckstein, W.: Appl. Phys. A34, 73 (1984)
Oen, O.S., Robinson, M.T.: Nucl. Instrum. Methods132, 647 (1976)
Lindhard, J., Scharff, M.: Phys. Rev.124, 128 (1961)
Biersack, J.P., Haggmark, L.: Nucl. Instrum. Methods174, 257 (1980)
Davis, P.J., Polansky, I.: In: Handbook of mathematical functions, chap. 25, p. 889. Abramowitz, M., Stegun, I.A. (eds.). New York: Dover 1965
Robinson, M.T., Torrens, I.M.: Phys. Rev.B9, 5008 (1974)
Robinson, M.T.: Tables of Classical Scattering Integrals, U.S. Atomic Energy Emission, Report ORNL-4556, 1970
Schlager, H.G., Eckstein, W.: IPP-Report 9/69, Garching, 1991
Eckstein, W., Bohdansky, J., Roth, J.: Nuclear fusion supplement, vol. 1, IAEA, Vienna, 1991