Ảnh hưởng của áp suất khí trơ đến tỷ lệ lắng đọng trong quá trình lắng đọng bằng laser xung

Tỷ lệ lắng đọng của permalloy và Ag được theo dõi trong quá trình lắng đọng bằng laser xung dưới các khí trơ khác nhau. Dưới điều kiện chân không cực cao, hiện tượng tái bắn ở bề mặt phim xảy ra do sự hiện diện của các hạt năng lượng trong chùm plasma. Khi áp suất khí tăng, năng lượng của các hạt giảm đi kèm với sự giảm bắn lại và sự gia tăng tỷ lệ lắng đọng đối với các vật liệu có năng suất bắn cao. Ngược lại, ở áp suất khí cao hơn, hiện tượng phân tán của vật liệu bị bắn ra khỏi đường lắng đọng giữa vật thể mục tiêu và nền được quan sát, dẫn đến sự giảm tỷ lệ lắng đọng. Trong khi trong trường hợp của Xe và Ar, các quá trình này chồng chéo với nhau, chúng được phân tách tốt nhất trong He. Áp suất He khoảng 0.4 mbar nên được sử dụng để giảm năng lượng động học của các hạt lắng đọng, đạt được tỷ lệ lắng đọng tối đa và tránh hiện tượng cấy ghép của các hạt. Điều này có lợi cho việc chuẩn bị các phim hợp kim kim loại và lớp nhiều lớp có giao diện sắc nét.