Indium profiles in InGaAs with heavy ion RBS

Elsevier BV - 1990
M. Döbeli1, P.C. Haubert1, T.A. Tombrello1
1Division of Mathematics, Physics, and Astronomy, California Institute of Technology, Pasadena, California 91125,USA

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Huang, 1988, J. Appl. Phys., 63, 5447, 10.1063/1.340366

Xiong, 1988, J. Vac. Sci. Technol., B6, 758, 10.1116/1.584367

Döbeli, 1990, Nucl. Instr. and Meth., B47, 148, 10.1016/0168-583X(90)90023-N

Davies, 1989

Ji, 1987, J. Appl. Phys., 62, 3366, 10.1063/1.339299

Xiong, 1987, Nucl. Instr. and Meth., B27, 432, 10.1016/0168-583X(87)90525-8

Ziegler, 1985

Booth, 1965, Nucl. Phys., 63, 481, 10.1016/0029-5582(65)90478-5

Thông tin
Thông tin xuất bản

Elsevier BV

Thông tin tác giả