Graphene-Assisted Chemical Etching of Silicon Using Anodic Aluminum Oxides as Patterning Templates

American Chemical Society (ACS) - Tập 7 Số 43 - Trang 24242-24246 - 2015
Jungkil Kim1, Dae Hun Lee1, Ju Hwan Kim1, Suk‐Ho Choi1
1Department of Applied Physics and Institute of Natural Sciences, Kyung Hee University, Yongin 446-701, Korea

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

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10.1038/nmat3370

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American Chemical Society (ACS)

Tập 7 Số 43

24242-24246

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