General inversion method for single-wavelength ellipsometry of samples with an arbitrary number of layers

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision - Tập 12 Số 6 - Trang 1375 - 1995
Salvador Bosch1, Francisco Monzonís1
1Laboratori d’Optica, Departament de Física Aplicada i Electrònica, Universitat de Barcelona, Diagonal 647, 08028 Barcelona, #N#Spain

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Reinberg, 1972, Appl. Opt., 11, 1273, 10.1364/AO.11.001273

So, 1976, Surf. Sci., 56, 97, 10.1016/0039-6028(76)90437-4

Easwarakhanthan, 1988, Surf. Sci., 197, 339, 10.1016/0039-6028(88)90589-4

Bosch, 1993, Surf. Sci., 289, 411, 10.1016/0039-6028(93)90672-7

Bosch, 1994, Surf. Sci., 321, 156, 10.1016/0039-6028(94)90036-1

Abelès, 1950, Ann. Phys., 5, 596, 10.1051/anphys/195012050596

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision

Tập 12 Số 6

1375

Thông tin tác giả