Mảng Photodetector Perovskite Halogenua Kim loại Linh hoạt thông qua Quang khắc và Kỹ thuật Lift-off Khô

Advanced Engineering Materials - Tập 24 Số 1 - 2022
Benzheng Xia1, Min Tu2,3,4, Bapi Pradhan5, Frederik Ceyssens6,7, Max L. Tietze1, Víctor Rubio‐Giménez1, Nathalie Wauteraerts1, Yujie Gao1, Michaël Kraft7, Julian A. Steele1, Elke Debroye5, Johan Hofkens8,9, Rob Ameloot1
1Centre for Membrane Separations Adsorption Catalysis and Spectroscopy (cMACS) KU Leuven 3001 Leuven Belgium
22020 X-Lab, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China
32020 X-Lab Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology Chinese Academy of Sciences Shanghai China; Centre for Membrane SeparationsAdsorptionCatalysisand Spectroscopy (cMACS) KU Leuven 3001 Leuven Belgium; State Key Laboratory of Transducer Technology Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology Chinese Academy of Sciences Shanghai China
4State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China
5Molecular Visualization and Photonics KU Leuven 3001 Leuven Belgium
6Centre for Membrane SeparationsAdsorptionCatalysisand Spectroscopy (cMACS) KU Leuven 3001 Leuven Belgium; Micro- and Nano Systems (MNS) KU Leuven 3001 Leuven Belgium
7Micro- and Nano Systems (MNS) KU Leuven 3001 Leuven Belgium
8Department Bonn Max Planck Institute for Polymer Research Ackermannweg 10 55128 Mainz Germany
9Department Bonn Max Planck Institute for Polymer Research Ackermannweg 10 55128 Mainz Germany; Molecular Visualization and Photonics KU Leuven 3001 Leuven Belgium

Tóm tắt

Các perovskite halogenua kim loại thu hút sự chú ý ngày càng tăng như là vật liệu photodetector nhờ khả năng hấp thụ ánh sáng nhìn thấy mạnh mẽ và dòng điện quang phát sinh tương ứng. Việc phát triển các quy trình chế tạo hiệu quả để hiện thực hóa các mảng pixel perovskite độ phân giải cao là rất quan trọng để cho phép tạo ra các thiết bị thực tiễn. Ở đây, một quy trình lift-off khô để chế tạo các pixel methylammonium chì iodide (MAPbI3) trên các loại nền khác nhau được báo cáo, với độ phân giải xuống tới 5 μm. Do đó, các mảng photodetector 8 × 10 được chế tạo trên cả kính và polyethylene terephthalate (PET) linh hoạt. Những mảng này cho thấy phản hồi quang nhạy cảm trên một dải bước sóng rộng từ 320 đến 760 nm. Hơn nữa, khi được bao bọc bởi một lớp Parylene-C, các mảng photodetector trên nền kính cho thấy độ ổn định không khí đáng chú ý, không bị mất hiệu suất rõ rệt sau 10 ngày trong không khí xung quanh, và các mảng photodetector linh hoạt trên nền PET cho thấy khả năng uốn cong xuất sắc, giữ lại gần 95% phản hồi sau 170 chu kỳ uốn.

Từ khóa

#perovskite halogenua #photodetector #kỹ thuật lift-off #ánh sáng nhìn thấy #độ phân giải cao

Tài liệu tham khảo

10.1038/s41586-020-2285-x

10.1126/sciadv.aaw7846

10.1021/acsenergylett.1c00007

10.1002/adfm.201909909

10.1038/s41928-018-0101-5

10.1038/natrevmats.2016.100

10.1126/science.abd4016

10.1002/aelm.201900444

10.1002/9783527344338

10.1038/natrevmats.2016.99

10.1002/adma.202000597

10.1021/acs.cgd.9b01717

Zou Y., 2020, Small Sci., 2000050

10.1002/adma.201707412

10.1021/acs.chemmater.9b03155

10.1002/adfm.201903648

10.1002/adma.201908006

10.1002/adfm.201903294

10.1002/adfm.201703704

10.1021/acsphotonics.6b00940

10.1002/adma.201605003

10.1021/acsnano.8b09592

10.1002/adom.201800474

10.1007/s12274-020-2883-9

E.Meng Yu-ChongTai in18th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems 2005. MEMS 2005 IEEE Miami Beach FL2005 p.568.

10.1021/acs.nanolett.0c00701

K.Kuribayashi Y.Hiratsuka T.Yamamura S.Takeuchi in2007 IEEE 20th Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) IEEE Hyogo Japan2007 p.501.

10.1126/sciadv.aar7353

10.1002/adma.202006006

10.1038/s41560-017-0001-3

10.1038/s41467-020-20016-3

10.1039/c1lc20340a

10.1039/c3lc50119a

10.3390/mi9040162

10.1021/ic401215x

10.1038/s41586-019-1357-2

10.1038/ncomms15882

10.1002/solr.201800294

10.1002/adfm.201603653

10.1021/acsami.5b05221

10.1002/adma.201805913

10.1038/ncomms6404

10.1021/acs.chemrev.8b00318

10.1002/admi.201600327

10.1021/acsenergylett.7b01057

10.1021/acs.nanolett.7b00166

10.1039/C6CS00896H

10.1038/srep16563

10.1002/admt.201800729

10.1002/adfm.201605654

10.1002/adfm.201101418

10.1002/eom2.12025

10.1126/science.aax3878

10.1038/natrevmats.2018.17

10.1016/0921-4526(93)90108-I

10.1107/S0021889809013727