Mảng Photodetector Perovskite Halogenua Kim loại Linh hoạt thông qua Quang khắc và Kỹ thuật Lift-off Khô
Tóm tắt
Các perovskite halogenua kim loại thu hút sự chú ý ngày càng tăng như là vật liệu photodetector nhờ khả năng hấp thụ ánh sáng nhìn thấy mạnh mẽ và dòng điện quang phát sinh tương ứng. Việc phát triển các quy trình chế tạo hiệu quả để hiện thực hóa các mảng pixel perovskite độ phân giải cao là rất quan trọng để cho phép tạo ra các thiết bị thực tiễn. Ở đây, một quy trình lift-off khô để chế tạo các pixel methylammonium chì iodide (MAPbI3) trên các loại nền khác nhau được báo cáo, với độ phân giải xuống tới 5 μm. Do đó, các mảng photodetector 8 × 10 được chế tạo trên cả kính và polyethylene terephthalate (PET) linh hoạt. Những mảng này cho thấy phản hồi quang nhạy cảm trên một dải bước sóng rộng từ 320 đến 760 nm. Hơn nữa, khi được bao bọc bởi một lớp Parylene-C, các mảng photodetector trên nền kính cho thấy độ ổn định không khí đáng chú ý, không bị mất hiệu suất rõ rệt sau 10 ngày trong không khí xung quanh, và các mảng photodetector linh hoạt trên nền PET cho thấy khả năng uốn cong xuất sắc, giữ lại gần 95% phản hồi sau 170 chu kỳ uốn.
Từ khóa
#perovskite halogenua #photodetector #kỹ thuật lift-off #ánh sáng nhìn thấy #độ phân giải caoTài liệu tham khảo
Zou Y., 2020, Small Sci., 2000050
E.Meng Yu-ChongTai in18th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems 2005. MEMS 2005 IEEE Miami Beach FL2005 p.568.
K.Kuribayashi Y.Hiratsuka T.Yamamura S.Takeuchi in2007 IEEE 20th Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) IEEE Hyogo Japan2007 p.501.