Fabrication of high-density In2Ga2ZnO7 sputtering target with uniform microstructure

Materials Science in Semiconductor Processing - Tập 121 - Trang 105342 - 2021
Jiang-An Liu1, Chen-Hui Li1, Yang Zou1, Liang Hu1, Yu-Sheng Shi1
1State Key Laboratory of Material Processing and Die & Mould Technology, School of Materials Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, PR China

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Materials Science in Semiconductor Processing

Tập 121

105342

Thông tin tác giả