Quan sát thực nghiệm về quá trình phun điện tích không bay hơi và sự oxi hóa-khử phân tử trong fullerenes C60 và C70 trong thiết bị loại EEPROM

Springer Science and Business Media LLC - 2004
Udayan Ganguly1, Chungho Lee2, Edwin C. Kan2
1Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, USA;
2School of Electrical and Computer Engineering, Cornell University,

Tóm tắt

TÓM TẮTGiao diện phân tử với CMOS là một lĩnh vực không thể thiếu để cải thiện hiểu biết của chúng ta về thế giới nano. Chúng tôi báo cáo sự tích hợp của fullerenes trong ngăn xếp cổng CMOS và chứng minh một giao diện phân tử chức năng bằng cách thực hiện các hoạt động oxy hóa-khử phân tử thông qua việc phun điện tích không bay hơi trong một thiết bị loại EEPROM. Ngăn xếp cổng của tụ điện MOS gồm có một lớp oxit cách nhiệt xâm nhập. Một lớp mỏng của fullerenes được lắng đọng. Sau đó, lớp oxit điều khiển được lắng đọng và cuối cùng kim loại cổng được định hình. Việc phun điện tích xảy ra tại một điện thế cụ thể của các phân tử fullerene so với dải dẫn của Si tại giao diện Si/SiO2, không phụ thuộc vào nồng độ của lớp mỏng fullerene. Điều này chỉ ra rõ ràng sự oxi hóa-khử phân tử trong trạng thái rắn mà có thể kiểm soát bằng điện trường. Các giao diện phân tử như vậy có thể được sử dụng để cải thiện độ nhạy không gian của các cảm biến hóa học như CνMOS để có thể giao diện với các hệ thống đại phân tử.

Từ khóa

#giao diện phân tử #CMOS #fullerenes #oxi hóa-khử #phun điện tích #EEPROM #cảm biến hóa học #CνMOS

Tài liệu tham khảo

[5] There is a numerical discrepancy in the VF extraction with [3]. In our previous work [3], tunneling oxide thickness was measured in as 2–3 nm using 3 wavelength Rudolph Ellipsometer. The calculations were done using 2 nm tunnel oxide. Currently, better measurement using a spectroscopic ellipsometer shows that the oxide is 2.7 nm for the C60 experiments and 2.4 nm for the C70 experiments. This does not disturb our arguments that the injections occur into molecular levels of the fullerenes since the different tunneling oxide thickness just scales VF to a different value. This VF is same for all devices with the same fullerene when the same tunnel oxide thickness is used for VF extraction.

10.1109/TNANO.2003.820817

10.1109/TNANO.2002.1005429

10.1109/TED.2003.816905

Ganguly, 2004, Mat. Res. Soc. Symp. Proc., 789, N16.3.1

Thông tin
Thông tin xuất bản

Springer Science and Business Media LLC

Thông tin tác giả