Error minimization method for spectroscopic and phase-modulated ellipsometric measurements on highly transparent thin films

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision - Tập 10 Số 4 - Trang 713 - 1993
J. Campmany1, E. Bertrán1, A. Canillas1, J.L. Andújar1, J. Costa1
1Departament de Física Aplicada i Electrònica, Universitat de Barcelona, Avinguda Diagonal, 647, E-08028-Barcelona, Catalonia, Spain

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Canillas, 1989, Vacuum, 39, 785, 10.1016/0042-207X(89)90037-7

Canillas, 1990, J. Appl. Phys., 68, 2752, 10.1063/1.346452

Andújar, 1991, J. Vac. Sci. Technol. A, 9, 2216, 10.1116/1.577253

Lloret, 1991, J. Appl. Phys., 69, 632, 10.1063/1.347343

Collins, 1985, J. Non-Cryst. Solids, 77–78, 1003, 10.1016/0022-3093(85)90830-0

Stchakovsky, 1991, J. Appl. Phys., 70, 2132, 10.1063/1.349450

Jellison, 1991, J. Appl. Phys., 69, 7627, 10.1063/1.347532

Jasperson, 1969, Rev. Sci. Instrum., 40, 761, 10.1063/1.1684062

Acher, 1989, Rev. Sci. Instrum., 60, 65, 10.1063/1.1140580

Bermudez, 1978, Appl. Opt., 17, 542, 10.1364/AO.17.000542

Jellison, 1990, Appl. Opt., 29, 959, 10.1364/AO.29.000959

Aspnes, 1984, Phys. Rev. B, 29, 768, 10.1103/PhysRevB.29.768

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of the Optical Society of America A: Optics and Image Science, and Vision

Tập 10 Số 4

713

Thông tin tác giả