Electrical characterization of Si-doped n-type α-Ga2O3 on sapphire substrates

Takayuki Uchida1, Kentaro Kaneko1, Shizυo Fujita1
1Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Kyoto, 615-8510, Katsura, Nishikyo-ku, Japan

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

S. Fujita, M. Oda, K. Kaneko, and T. Hitora, Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202A3 (2016).

K. Kaneko, I. Kakeya, S. Komori, and S. Fujita, J. Appl. Phys. 113, 233901 (2013).

K. Akaiwa and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 070203 (2012).

K. Akaiwa, K. Kaneko, K. Ichino, and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202BA (2016).

K. Sasaki, D. Wakimoto, Q. T. Thieu, Y. Koishikawa, A. Kuramata, M. Higashiwaki, and S. Yamakoshi, IEEE Electron Device Lett. 38, 783 (2017)

J. Green, K. D. Chabak, M. Baldini, N. Moser, R. Gilbert, R. C. Fitch, Jr., G. Wagner, Z. Galazka, J. McCandless, A. Crespo, K. Leedy, and G. H. Jessen, Sr., IEEE Electron Device Lett. 38, 790 (2017).

M. H. Wong, Y. Nakata, A. Kuramata, S. Yamakoshi, and M. Higashiwaki, Appl. Phys. Express 10, 041101 (2017).

J. Szubera, G. Czempika, R. Larcipreteb, D. Kozieja, and B. Adamowicza, Thin Solid Films 391, 198 (2001).

M. Kwoka, G. Czempik, and J. Szuber, acta physica slovaca 55, 331 (2005).

D. Shinohara and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys. 47, 7311 (2008).

K. Kaneko, H. Kawanowa, H, Ito, and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 020201 (2012).

S. Fujita and K. Kaneko, J. Cryst. Growth 401, 588 (2014).

M. Oda, K. Kaneko, S. Fujita, and T. Hitora, Jpn. J. Appl. Phys. 55, 1202B4 (2016).

T. Kawaharamura, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 05FF08 (2014)

S. Fujita, K. Kaneko, T. Ikenoue, T. Kawaharamura, and M. Furuta, Phys. Stat. Solidi (c), 11, 1225 (2014).

K. Kaneko, Y. Ito, T. Uchida, and S. Fujita, Appl. Phys. Express 8, 095503 (2015).

M. Oda, R. Tokuda, H. Kambara, T. Tanikawa, T. Sasaki, and T. Hitora, Appl. Phys. Express 9, 021101 (2016).

G. T. Dang, T. Uchida, T. Kawaharamura, M. Furuta, A. R. Hyndman, R. Martinez, S. Fujita, R. J. Reeves, and M. W. Allen, Appl. Phys. Express 9, 041101 (2016).

K. Kaneko, M. Kitajima, and S. Fujita, MRS Advances 2, 301 (2017).

R. Jinno, T. Uchida, K. Kaneko, and S. Fujita, Appl. Phys. Express 9, 071101 (2016).

M. A. Blanco, M. B. Sahariah, H. Jiang, A. Costales, and R. Pandey, Phys. Rev. B 72, 184103 (2005).