Effect of Sputtering Parameters on the Morphology of TiO<sub>2</sub> Nanotubes Synthesized From Thin Ti Film on Si Substrate

IEEE Transactions on Nanotechnology - Tập 14 Số 1 - Trang 18-25 - 2015
Karumbaiah N. Chappanda1, York R. Smith2, Loren Rieth3, Prashant Tathireddy3, Mano Misra2, Swomitra K. Mohanty4
1Department of Electrical and Electronics Engineering, Birla Institute of Technology and Science, Pilani, India
2Department of Metallurgical Engineering, University of Utah, Salt Lake City, UT, USA
3[Department of Electrical and Computer Engineering, University of Utah, Salt Lake City, UT, USA]
4Department of Chemical Engineering University of Utah Salt Lake City UT USA

Tóm tắt

Từ khóa


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