Effect of Particle Size during Tungsten Chemical Mechanical Polishing

The Electrochemical Society - Tập 2 Số 8 - Trang 401 - 1999
M. Bielmann1
1Department of Materials Science and Engineering and Engineering Research Center for Particle Science and Technology, University of Florida, Gainesville, Florida 32611, USA

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

The Electrochemical Society

Tập 2 Số 8

401

Thông tin tác giả