Xuống đến đo lường ở quy mô nano: xác định hình dạng đầu dò AFM với các cấu trúc chuẩn có cạnh sắc đã biết

Applied Physics A Solids and Surfaces - Tập 76 - Trang 913-917 - 2003
U. Hübner1, W. Morgenroth1, H.G. Meyer1, T. Sulzbach2, B. Brendel3, W. Mirandé4
1Institute for Physical High Technology Jena, P.O. Box 100239, 07702 Jena, Germany, , DE
2Nanoworld Services GmbH, Im Amtmann 3, 35578 Wetzlar, Germany, , DE
3Leica Microsystems Lithography GmbH, Göschwitzer Strasse 25, 07745 Jena, Germany, , DE
4Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig, Bundesallee 100, PF3345, 38023 Braunschweig, Germany, , DE

Tóm tắt

Ngày càng có nhiều AFM và thiết bị đo AFM được sử dụng để định lượng các cấu trúc vi mô và nano. Để có được đặc trưng và đánh giá chính xác các chi tiết cấu trúc đã đo, trong phạm vi nano, cần phải hiểu hình dạng hiện tại của đầu dò AFM. Thường xuyên, sự tương tác giữa đầu dò AFM và mẫu vật dẫn đến thay đổi hình dạng của đầu dò. Khái niệm của chúng tôi về việc xác định hình dạng đầu dò dựa trên việc đo một cấu trúc silicon có cạnh sắc nét đã biết. Mỗi mẫu hiệu chuẩn chứa một cấu trúc được lựa chọn làm tiêu chuẩn chiều rộng hiệu chuẩn và có chiều dài được chứng nhận. Do đó, hình dạng của đầu dò AFM có thể được xác định với độ chính xác 10 nm.

Từ khóa

#AFM #hình dạng đầu dò AFM #cấu trúc chuẩn #vi mô #nano #đo lường

Thông tin
Thông tin xuất bản

Applied Physics A Solids and Surfaces

Tập 76

913-917

Thông tin tác giả