Diffusion ofn-type dopants in germanium

Claeys C., 2007, Germanium-Based Technologies: From Materials to Devices

10.1063/1.3592962

Stolwijk N. A., 1998, Diffusion in Silicon, Germanium and their Alloys

Bracht H., 2002, Solubility in Silicon and Germanium

10.1016/j.mssp.2006.08.041

10.1088/0268-1242/21/6/008

10.1016/j.mssp.2006.08.059

10.1016/j.mssp.2006.08.045

10.1016/j.mssp.2006.08.013

10.1016/j.mssp.2006.10.001

10.1002/pssb.v244:9

10.1088/0953-8984/24/19/195802

10.1016/j.mssp.2006.08.063

10.1103/PhysRevB.77.195210

10.1016/j.mseb.2008.08.005

10.1063/1.3025892

10.1063/1.2838206

10.1063/1.3002294

10.1103/PhysRevB.78.195201

10.1063/1.3456998

10.1063/1.3086664

10.1103/PhysRevB.80.033204

10.1063/1.3159468

10.1063/1.3618671

10.1063/1.3110104

10.1016/j.mssp.2010.10.009

10.1103/PhysRevB.32.3930

10.1103/PhysRevB.62.9903

10.1103/PhysRev.101.1455

10.1063/1.127071

10.1063/1.2429718

10.1063/1.2996284

10.1063/1.3609070

10.1103/PhysRevB.33.2674

10.1103/PhysRevB.62.10824

10.1063/1.3409888

10.1016/j.mseb.2011.01.004

10.1063/1.3056387

10.1063/1.3361115

10.1063/1.3658261

10.1063/1.4817012

10.1103/PhysRevLett.80.2626

10.1103/PhysRevB.77.235207

10.1063/1.2918842

10.1007/s10854-006-9071-x

10.1063/1.2798875

10.1063/1.1402664

10.1063/1.1618382

10.1016/0001-6160(82)90200-0

Dorner P., 1982, Z. Metallkd., 73, 325

10.1080/01418618608243611

10.1063/1.3226860

10.1016/j.cplett.2010.03.005

10.1063/1.2837103

10.1103/PhysRevB.77.235208

10.1063/1.3625939

10.1103/PhysRev.102.636

10.1103/PhysRev.106.73

10.1063/1.335259

10.1103/PhysRevB.43.14465

10.1016/j.mssp.2004.06.001

10.1103/PhysRevLett.81.393

10.1103/PhysRevLett.98.095901

10.1103/PhysRevB.88.085206

10.1002/pssb.19680290202

10.1103/PhysRevLett.110.155501

10.1063/1.4811442

10.1103/PhysRevB.78.165202

10.1088/0953-8984/17/48/L02

10.1149/1.2162469

10.1116/1.2162565

10.1116/1.2805249

10.1103/PhysRevB.77.214109

10.1063/1.3153985

10.1103/PhysRev.95.38

10.1143/JPSJ.21.34

10.1002/pssb.2220720102

10.1103/PhysRevB.70.115215

10.1103/PhysRevLett.99.175502

10.1103/PhysRevB.87.115202

10.1103/PhysRevB.75.035210

10.1103/PhysRev.104.617

10.1063/1.118839

10.1063/1.364452

10.1103/PhysRevB.75.035211

10.1063/1.127087

10.1063/1.3117485

10.1149/1.2919115

10.1016/j.tsf.2009.09.171

10.1088/0268-1242/22/1/S39

10.1063/1.4745020

10.1063/1.2778540

10.1063/1.1766090

10.1063/1.4763353

10.1063/1.3276770

10.1149/1.3512990

10.1063/1.3520671

10.1063/1.2115078

10.1063/1.2037861

10.1049/el:20052999

10.1109/TNS.1982.4335949

10.1063/1.2404663

10.1002/0470068329

10.1088/0965-0393/17/8/084002

10.1103/PhysRevB.78.235104

10.1002/pssb.2220600215

10.1103/PhysRevB.71.035212

10.1016/j.mssp.2012.06.014

10.1002/j.1538-7305.1960.tb03928.x

10.1002/pssa.2211010113

10.1063/1.2805773

10.1063/1.2196227

F. A. Kröger and V. J. Vink,in Solid State Physics, edited by F. Seitz and D. Turnbull (Academic, New York, 1956), Vol. 3, p. 307.

10.1063/1.115322

10.1063/1.371922

10.1063/1.373046

10.1103/PhysRevB.72.235206

10.1063/1.1948533

10.1063/1.3035847

10.1063/1.3224900

10.1016/j.nimb.2011.08.039

10.1149/2.009203jss

10.1002/pssb.v235:1

10.1016/S0360-3199(00)00094-X

10.1088/0953-8984/17/22/013

10.1063/1.3658261

10.1063/1.3666226

10.1063/1.4795510

10.1063/1.4821116

10.1016/0254-0584(95)01673-I

10.1063/1.1730236

10.1080/00018738100101357

10.1016/0921-5107(95)01273-7

10.1063/1.2234315

10.1088/0268-1242/26/9/095017

10.1080/00337577108242034

M. L. David, E. Simoen, C. Clays, V. B. Neimash, N. Kra'sko, A. Kraitchinscii, V. Voytovych, V. Tishchenko, and J. F. Barbot, in The Proc. High Purity Silicon VIII, The Electrochem. Soc. Ser Proc. (2004), Vol. 2004–2005, p. 395.

10.1063/1.4770488

10.1103/PhysRev.121.1001

10.1039/c2cp42973j

10.1063/1.3653472

10.1109/LED.2011.2119460

10.1063/1.3558715

10.1063/1.4792480

10.1103/PhysRevLett.90.155901

10.1103/PhysRevB.76.033201

10.1063/1.2969055

10.1103/PhysRevLett.61.1867

10.1103/PhysRevLett.93.245901

10.1103/PhysRevB.72.045219

10.1103/PhysRevLett.96.039601

10.1063/1.2338555

10.1103/PhysRevB.74.121201

10.1063/1.4746389

10.1103/PhysRevLett.103.255501

10.1063/1.3534791

10.1103/PhysRevLett.91.245502

S. Schneider, Ph.D. dissertation, Münster University, 2012.

10.1103/PhysRevB.80.014114

10.1103/PhysRevLett.65.2434

10.1103/PhysRevB.84.024104

10.1063/1.4703911

10.1063/1.116502

10.1021/cm0300011

10.1063/1.1922078

10.1146/annurev.matsci.36.090804.095159

10.1063/1.3224894