Determination of refractive-index profiles by a combination of visible and infrared ellipsometry measurements

Optica Publishing Group - Tập 35 Số 28 - Trang 5540 - 1996
Vien Van1, A. Brunet‐Bruneau1, S. Fisson1, J. M. Frigerio1, G. Vuye1, Y. Wang1, F. Abelès1, J. Rivory1, M. Berger2, Patrick Chaton2
1Laboratoire d’Optique des Solides, Unité de Recherche Associée au Centre National de la Recherche Scientifique 78, Université Pierre et Marie Curie, 75252 Paris Cedex 05 #N#France.
2Commissariat à l’Energie Atomique, Labo Electronique, Technologie, Instrumentation, Couches Minces pour l’Optique, 17 avenue des Martyrs, 38054 Grenoble, #N#France.

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Guenther, 1984, Appl. Opt., 23, 3806, 10.1364/AO.23.003806

Marques, 1991, J. Opt. Soc. Am. B, 8, 2523, 10.1364/JOSAB.8.002523

Borgogno, 1982, Appl. Opt., 21, 4020, 10.1364/AO.21.004020

Parjadis de Larivière, 1992, Appl. Opt., 31, 6056, 10.1364/AO.31.006056

Philipp, 1972, J. Non-Cryst. Solids, 8–10, 627, 10.1016/0022-3093(72)90202-5

Eriksson, 1986, J. Appl. Phys., 60, 2081, 10.1063/1.337212

Aspnes, 1979, J. Appl. Phys., 50, 4928, 10.1063/1.325596

Thông tin
Thông tin xuất bản

Optica Publishing Group

Tập 35 Số 28

5540

Thông tin tác giả