Design and modeling of a six DOFs MEMS-based precision manipulator

Precision Engineering - Tập 34 - Trang 307-319 - 2010
D.M. Brouwer1,2, B.R. de Jong3, H.M.J.R. Soemers1,4
1University of Twente, Horst HR W222, Drienerlolaan 5, 7500 AE Enschede, The Netherlands
2DEMCON, Zutphenstraat 25, 7575 EJ Oldenzaal, The Netherlands
3Philips Applied Technologies, Electronic Packaging & Thin Film, HTC7 3A.035, 5656 AE Eindhoven, The Netherlands
4Philips Applied Technologies, Building WDX 2.A.032, High Tech Campus 7, 5856 AE Eindhoven, The Netherlands

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Precision Engineering

Tập 34

307-319

Thông tin tác giả