Deep and vertical silicon bulk micromachining using metal assisted chemical etching

Journal of Micromechanics and Microengineering - Tập 23 Số 5 - Trang 055015 - 2013
Mohammad Zahedinejad1, Saeed Delaram Farimani1, Mahdi Khaje1, Hamed Mehrara1, Alireza Erfanian1, Firooz Zeinali1
1Department of Electrical Engineering, KNToosi University of Technology, SeyyedKhandan Bridge, Tehran, Iran

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

10.1016/S0026-2714(00)00198-0

10.1109/LED.2003.821600

10.1038/nmat1315

Petersen K, 1996, Int. Electron Devices Meeting, 239, 10.1109/IEDM.1996.553575

10.1109/5.704269

10.1016/S0924-4247(02)00015-8

10.1117/1.JMM.11.1.013011

10.2971/jeos.2012.12008

10.1109/5.704259

10.1063/1.1465123

10.1063/1.1319191

Zahedinejad M, 2011, J. Micromech. Microeng., 21, 10.1088/0960-1317/21/6/065006

10.1021/jp077053o

10.1002/adfm.200900181

Balasundaram K, 2012, Nanotechnology, 23, 10.1088/0957-4484/23/30/305304

Dawood M K, 2010, Nanotechnology, 21, 10.1088/0957-4484/21/20/205305

de Boor J, 2010, Nanotechnology, 21, 10.1088/0957-4484/21/9/095302

10.1021/cm101121c

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Micromechanics and Microengineering

Tập 23 Số 5

055015

Thông tin tác giả