Kiểm soát cấu trúc vi mô và các tính chất chức năng của màng mỏng PZT thông qua quá trình pirol hóa hỗ trợ bằng UV

Journal of Sol-Gel Science and Technology - Tập 42 - Trang 309-314 - 2006
S. R. Kumar1, S. Habouti1, V. Zaporojtchenko2, M. Es-Souni1
1Institute for Materials and Surface Technology, University of Applied Sciences Kiel, Kiel, Germany
2Faculty of Engineering, Christian-Albrechts University, Kiel, Germany

Tóm tắt

Đã nghiên cứu ảnh hưởng của ánh sáng cực tím (UV) trong quá trình pirol hóa các màng mỏng Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 được chế tạo bằng phương pháp sol-gel trên các nền (111)Pt/Ti/SiO2/Si. Các màng được xử lý bằng UV thể hiện cấu trúc hạt mịn đồng nhất với định hướng ưu tiên (100), trong khi cấu trúc hạt song mô và định hướng ưu tiên (111) được tìm thấy cho màng không qua xử lý. Điều này được giải thích theo sự hình thành các lớp khuôn đặc biệt trong quá trình pirol hóa. Các tính chất sắt điện, điện môi và điện áp cũng được báo cáo cho cả hai loại màng. Kết quả cho thấy, trong khi các tính chất sắt điện cao hơn cho các màng (111), thì các màng (100) lại thể hiện các tính chất điện môi và piezoelectric tốt hơn với hệ số piezoelectric hiệu quả, d33eff, là 183 pm/V so với 101.8 pm/V cho các màng (111).

Từ khóa

#pirol hóa #màng mỏng PZT #ánh sáng UV #cấu trúc vi mô #tính chất chức năng #tính chất điện môi #tính chất sắt điện #tính chất piezoelectric

Tài liệu tham khảo

Hoffmann MJ, Hammer M, Endriss A, Lupascu DC (2001) Acta Mater 49:1301 Sreenivas K, Sayer M, Baar DJ, Nishioka M (1988) Appl Phys Lett 52:709 Evans JT, Womack R (1988) IEEE J Solid-St Circ 23:1171 Scott J, Paz de Araujo C(1989) Science 246:1400 Hwang JY, Lee SA, Cho CR, Jeong SY (2004) Integr Ferroelectr 62:97 Calzada ML, Gonzalez A, Poyato R, Pardo L (2003) J Mater Chem 13:1451 Norga GJ, Fe L, Vasiliu F, Wouters DJ, Van Der Biest O (2002) Mater Res Soc Symp Proc 688:15 Fé L, Norga GJ, Wouters DJ, Maes HE, Maes G (2001) J Mat Res 16:2499 Tohge N, Takama Y (1999) J Mater Sci:Mater Electron 10:273 Gong W, Li JF, Chu X, Li L (2004) J Eur Ceram Soc 24:2977 Huang Z, Zhang Q, Whatmore RW (1998) J Mater Sci Lett 17:1157 Cheng J, Luo L, Meng Z (2002) Proceedings of the 6th International Conference on properties and applications of Dielectric Materials IEEE, Piscataway, NJ, vol 2, p 930 Chen SY (1996) Mater Chem Phys 45:159 Wu A, Vilarinho PM, Salvado IMM, Baptista JL (2002) J Am Ceram Soc 85:641 Kalpat S, Uchino K (2001) J Appl Phys 90:2703 Brooks KG, Reaney IM, Klissurska R, Huang Y, Bursill L, Setter N (1994) J Mater Res 9:2540 Lian L, Sottos NR (2000) J Appl Phys 87:3941 Lian L, Sottos NR (2004) J Appl Phys 95:629 Lefki K, Dormans GJM (1994) J Appl Phys 76:1764 Fu D, Ishikawa K, Minakata M, Suzuki H (2001) Jpn J Appl Phys 40:5683 Hiboux S, Muralt P, Maeder T (1999) J Mater Res 14:4307 Heartling GH (1999) J Am Ceram Soc 82:797 Noheda B, Gonzalo JA, Cross LE, Guo R, Park S-E, Cox DE, Shirane G (2000) Phys Rev B 61:8687 Guo R, Cross LE, Park S-E, Noheda B, Cox DE, Shirane G (2000) Phys Rev Lett 84:5423 Bellaiche L, Garcia A, Vanderbilt D (2002) Ferroelectrics 266:41 Bellaiche L, Garcia A, Vanderbilt D (2000) Phys Rev Lett 84:5427 Moulson AJ, Herbert JM (2003) Electroceramics, Wiley, Chichester, UK, p 345 Xu Y (1991) Ferroelectric materials and their applications. Elsevier, Amsterdam, NL, p 104