Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Kiểm soát cấu trúc vi mô và các tính chất chức năng của màng mỏng PZT thông qua quá trình pirol hóa hỗ trợ bằng UV
Tóm tắt
Đã nghiên cứu ảnh hưởng của ánh sáng cực tím (UV) trong quá trình pirol hóa các màng mỏng Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 được chế tạo bằng phương pháp sol-gel trên các nền (111)Pt/Ti/SiO2/Si. Các màng được xử lý bằng UV thể hiện cấu trúc hạt mịn đồng nhất với định hướng ưu tiên (100), trong khi cấu trúc hạt song mô và định hướng ưu tiên (111) được tìm thấy cho màng không qua xử lý. Điều này được giải thích theo sự hình thành các lớp khuôn đặc biệt trong quá trình pirol hóa. Các tính chất sắt điện, điện môi và điện áp cũng được báo cáo cho cả hai loại màng. Kết quả cho thấy, trong khi các tính chất sắt điện cao hơn cho các màng (111), thì các màng (100) lại thể hiện các tính chất điện môi và piezoelectric tốt hơn với hệ số piezoelectric hiệu quả, d33eff, là 183 pm/V so với 101.8 pm/V cho các màng (111).
Từ khóa
#pirol hóa #màng mỏng PZT #ánh sáng UV #cấu trúc vi mô #tính chất chức năng #tính chất điện môi #tính chất sắt điện #tính chất piezoelectricTài liệu tham khảo
Hoffmann MJ, Hammer M, Endriss A, Lupascu DC (2001) Acta Mater 49:1301
Sreenivas K, Sayer M, Baar DJ, Nishioka M (1988) Appl Phys Lett 52:709
Evans JT, Womack R (1988) IEEE J Solid-St Circ 23:1171
Scott J, Paz de Araujo C(1989) Science 246:1400
Hwang JY, Lee SA, Cho CR, Jeong SY (2004) Integr Ferroelectr 62:97
Calzada ML, Gonzalez A, Poyato R, Pardo L (2003) J Mater Chem 13:1451
Norga GJ, Fe L, Vasiliu F, Wouters DJ, Van Der Biest O (2002) Mater Res Soc Symp Proc 688:15
Fé L, Norga GJ, Wouters DJ, Maes HE, Maes G (2001) J Mat Res 16:2499
Tohge N, Takama Y (1999) J Mater Sci:Mater Electron 10:273
Gong W, Li JF, Chu X, Li L (2004) J Eur Ceram Soc 24:2977
Huang Z, Zhang Q, Whatmore RW (1998) J Mater Sci Lett 17:1157
Cheng J, Luo L, Meng Z (2002) Proceedings of the 6th International Conference on properties and applications of Dielectric Materials IEEE, Piscataway, NJ, vol 2, p 930
Chen SY (1996) Mater Chem Phys 45:159
Wu A, Vilarinho PM, Salvado IMM, Baptista JL (2002) J Am Ceram Soc 85:641
Kalpat S, Uchino K (2001) J Appl Phys 90:2703
Brooks KG, Reaney IM, Klissurska R, Huang Y, Bursill L, Setter N (1994) J Mater Res 9:2540
Lian L, Sottos NR (2000) J Appl Phys 87:3941
Lian L, Sottos NR (2004) J Appl Phys 95:629
Lefki K, Dormans GJM (1994) J Appl Phys 76:1764
Fu D, Ishikawa K, Minakata M, Suzuki H (2001) Jpn J Appl Phys 40:5683
Hiboux S, Muralt P, Maeder T (1999) J Mater Res 14:4307
Heartling GH (1999) J Am Ceram Soc 82:797
Noheda B, Gonzalo JA, Cross LE, Guo R, Park S-E, Cox DE, Shirane G (2000) Phys Rev B 61:8687
Guo R, Cross LE, Park S-E, Noheda B, Cox DE, Shirane G (2000) Phys Rev Lett 84:5423
Bellaiche L, Garcia A, Vanderbilt D (2002) Ferroelectrics 266:41
Bellaiche L, Garcia A, Vanderbilt D (2000) Phys Rev Lett 84:5427
Moulson AJ, Herbert JM (2003) Electroceramics, Wiley, Chichester, UK, p 345
Xu Y (1991) Ferroelectric materials and their applications. Elsevier, Amsterdam, NL, p 104